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zhuangyun169新蟲 (初入文壇)
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[求助]
硅片上鍍PMMA膜問題求助 已有1人參與
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| 各位蟲友,本人課題要在硅片上鍍上聚合物薄膜,要求聚合物是PMMA、PC或PS,且所鍍薄膜的粗糙度Ra在1nm左右,膜厚幾十個nm。我現(xiàn)在用的是旋涂機將PMMA溶液涂覆在硅片上,但鍍的膜的粗糙度達到了幾十個nm。請問各位對這方面有經(jīng)驗的蟲友,怎么能得到粗糙度小的薄膜?我鍍膜前硅片就用pirahna溶液和乙醇溶液洗了一下,是不是還得增加其它處理硅片的步驟啊。謝謝 各位蟲友了! |
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