firstlaker

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[求助] 光刻和電子束刻蝕做金屬圖案已有3人參與

如題。我想在鐵膜上做一些圓柱形圖案，直徑為1um左右，厚度50 nm。用電子束刻蝕后再用磁控濺射機(jī)鍍膜，lift-off方法做出來的膜邊緣問題很大，請(qǐng)問有什么方法可以改善么？
聽說可以先鍍上膜，再光刻，然后利用化學(xué)反應(yīng)腐蝕掉未被光刻膠覆蓋部分，這種方法可行么？做出來的pattern效果怎么樣？可以用哪種膠和哪種溶液呢？
如果我用光刻的方法在鐵膜上做直徑20um左右厚度50nm的圖案，又應(yīng)該用哪種膠和哪種圖案呢？易于實(shí)現(xiàn)么？

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@lee0803

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1樓 2014-09-23 09:56:24

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yswyx

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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
dgf2008: 屏蔽內(nèi)容, 過期內(nèi)容！ 2017-07-25 23:34:02

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2樓2014-09-23 19:31:20

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firstlaker

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引用回帖:

2樓: Originally posted by yswyx at 2014-09-23 19:31:20
1um的圖形，無論是光學(xué)光刻還是電子束光刻都比較難做lift off工藝，需要做雙層膠。但是因?yàn)榉直媛室呀?jīng)到1um了，所以底層膠的選擇就很難了。傳統(tǒng)上，都是用兩層PMMA來實(shí)現(xiàn)的。但是這個(gè)工藝太復(fù)雜，太麻煩。簡(jiǎn)單一點(diǎn)的 ...

IBE可能刻蝕掉金屬鐵膜么？做出來效果怎么樣呢？在哪種儀器上做，要使用FIB儀器么？

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3樓2014-09-26 13:00:28

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exciting73

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【答案】應(yīng)助回帖

商家已經(jīng)主動(dòng)聲明此回帖可能含有宣傳內(nèi)容

lift-off做出來邊緣很大指的是什么？鐵膜？
圓柱形鐵膜直徑1um，那間距是多少？應(yīng)該可以用lift-off工藝做的。
濕法腐蝕也是一個(gè)選擇，50 nm厚腐蝕很快的，可以試試NaCl水溶液、酸。
相應(yīng)的光刻膠我們這里有的，可站內(nèi)聯(lián)系

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4樓2014-09-26 13:22:29

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4樓: Originally posted by exciting73 at 2014-09-26 13:22:29
lift-off做出來邊緣很大指的是什么？鐵膜？
圓柱形鐵膜直徑1um，那間距是多少？應(yīng)該可以用lift-off工藝做的。
濕法腐蝕也是一個(gè)選擇，50 nm厚腐蝕很快的，可以試試NaCl水溶液、酸。
相應(yīng)的光刻膠我們這里有的，可 ...

電子束曝光，顯影，定影后，磁控濺射后，再洗去膠，發(fā)現(xiàn)圓形pattern都是周圍很高200nm+中間低的樣子，即中間凹下去，邊緣突起。
文獻(xiàn)中多用蒸鍍的方法來做lift off，pattern周圍會(huì)好很多。

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5樓2014-09-26 13:50:00

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yswyx

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3樓: Originally posted by firstlaker at 2014-09-26 13:00:28
IBE可能刻蝕掉金屬鐵膜么？做出來效果怎么樣呢？在哪種儀器上做，要使用FIB儀器么？...

IBE可以刻任何金屬，就是離子轟擊的原理。
你做電子束的lift off，邊緣的金屬較厚，很可能是因?yàn)楫a(chǎn)生了爬坡。還是建議用雙層膠。

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6樓2014-09-26 16:59:08

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exciting73

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引用回帖:

5樓: Originally posted by firstlaker at 2014-09-26 13:50:00
電子束曝光，顯影，定影后，磁控濺射后，再洗去膠，發(fā)現(xiàn)圓形pattern都是周圍很高200nm+中間低的樣子，即中間凹下去，邊緣突起。
文獻(xiàn)中多用蒸鍍的方法來做lift off，pattern周圍會(huì)好很多。...

你用的是什么膠？底切不夠吧。

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7樓2014-09-27 09:43:52

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metaliium

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顯然要用電子束蒸發(fā)。磁控濺射lift off本來就有問題，它形成的是連續(xù)的膜，lift off實(shí)際上是把膜撕開的過程，邊緣肯定不好；邊緣不好還算好的，如果和襯底粘合不好還容易把整個(gè)東西都直接撕掉。。。

1微米是非常大的結(jié)構(gòu)了，采用電子束刻蝕+電子束蒸發(fā)，不需要任何特別的處理。。。

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8樓2014-09-27 10:34:34

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hitsz_li

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supernatural: 金幣-2, 屏蔽內(nèi)容, 違規(guī)存檔, 帖子里不允許留下網(wǎng)站鏈接 2020-05-27 09:16:49

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9樓2020-05-24 09:25:23

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