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liaofang20銀蟲 (小有名氣)
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[求助]
磁控濺射偏壓增大電流為零了怎么回事
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大俠們幫幫忙： 磁控濺射時(shí)，加大工件負(fù)偏壓，加到300V時(shí)，偏壓電源為零了是怎么回事？ 補(bǔ)充：狀態(tài)為靶材開啟來時(shí)。 [ Last edited by liaofang20 on 2013-7-25 at 11:51 ] |
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 磁控濺射靶材資料大全 |
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