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薄膜退火溫度的確定
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| 大家好,弱弱的問個問題,小弟用蒸發(fā)法制備Te2薄膜,Te2的熔點是425度,我把襯底溫度加到170度時就已經(jīng)蒸不上去了,現(xiàn)在是要把常溫下制備的薄膜退火,希望結(jié)晶性更好一些,但是不知道退火溫度多少合適,請大家給點建議,多謝多謝! |
鐵桿木蟲 (正式寫手)
硅材料研發(fā)人員

鐵桿木蟲 (正式寫手)
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