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長時間濺射TiN為啥黑了呢？ 已有2人參與
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反應(yīng)濺射TiN薄膜，正常情況下是金黃色的，但是只能短時間濺射（20min以內(nèi)），時間一長就黑了（條件不變，如總壓，N分壓，功率等），這樣厚度達不到要求啊，哪位高手做過給點建議唄？謝謝 |
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2樓2013-08-08 11:19:34
3樓2013-08-23 15:36:01
keqi8058
金蟲 (正式寫手)
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4樓2013-08-24 00:59:06
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