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[交流]
長時(shí)間濺射TiN為啥黑了呢？ 已有2人參與
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反應(yīng)濺射TiN薄膜，正常情況下是金黃色的，但是只能短時(shí)間濺射（20min以內(nèi)），時(shí)間一長就黑了（條件不變，如總壓，N分壓，功率等），這樣厚度達(dá)不到要求啊，哪位高手做過給點(diǎn)建議唄？謝謝 |
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keqi8058
金蟲 (正式寫手)
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4樓2013-08-24 00:59:06
2樓2013-08-08 11:19:34
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