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長時(shí)間濺射TiN為啥黑了呢？ 已有2人參與
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反應(yīng)濺射TiN薄膜，正常情況下是金黃色的，但是只能短時(shí)間濺射（20min以內(nèi)），時(shí)間一長就黑了（條件不變，如總壓，N分壓，功率等），這樣厚度達(dá)不到要求啊，哪位高手做過給點(diǎn)建議唄？謝謝 |
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2樓2013-08-08 11:19:34
3樓2013-08-23 15:36:01
keqi8058
金蟲 (正式寫手)
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- 專業(yè): 金屬功能材料
4樓2013-08-24 00:59:06
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