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Illusionist銀蟲 (正式寫手)
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[求助]
射頻濺射反射功率居高不下！怎么辦？
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濺射的是半導體薄膜，電阻4~5K歐姆。 輸入100W功率，反射功率達到53W，實際功率只有47W。 調(diào)節(jié)電容，反射功率還會上升！~ 怎么回事？ |
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dql52213
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【答案】應(yīng)助回帖
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| 一般反射功率不超過功率的4%，太高了會損傷儀器的。一般調(diào)節(jié)功率適配器上面的調(diào)諧和耦合兩個就可以降低反射功率了啊。 |
2樓2013-08-29 15:08:35
WeightLoser
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4樓2013-09-10 18:20:57
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