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shirz新蟲 (初入文壇)
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坩堝下降法生長(zhǎng)氟化鎂晶體放肩多晶如何消除
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坩堝下降法生長(zhǎng)氟化鎂晶體，有時(shí)候會(huì)遇到爐子不穩(wěn)定的情況生長(zhǎng)出多晶晶體，有時(shí)候不動(dòng)再次生長(zhǎng)又是單晶，一般在籽晶部分沒啥問題，問題基本都出在從籽晶部分長(zhǎng)出后圓錐放肩的部分，等到等徑部分一般就沒啥問題了。有些爐子可以穩(wěn)定的出好多塊單晶，有的爐子出單晶多晶概率在一半一半，還有的就差一些。有些爐子這段時(shí)間連續(xù)出單晶，過些日子就連續(xù)出多晶了，不調(diào)整，有時(shí)候又出單晶了，有時(shí)候回不來了。石墨坩堝，長(zhǎng)直徑10厘米以上的晶體，大家覺得主要影響因素是哪些？在你的經(jīng)驗(yàn)中，那個(gè)是最主要。溫場(chǎng)，爐內(nèi)溫度波動(dòng)，環(huán)境溫度波動(dòng)，籽晶質(zhì)量，控溫高低，籽晶桿的水冷位置、流量或溫度，坩堝托的長(zhǎng)度，生長(zhǎng)界面形狀，生長(zhǎng)界面的高低，擴(kuò)肩角度，起始引下位置，熔液熔化好壞，引下速度。 另外還有個(gè)困惑，一半理論上來說，生長(zhǎng)界面位置比隔板高一點(diǎn)容易晶體長(zhǎng)完了是凸界面。但有人認(rèn)為引下完成后晶體表面停留的位置是影響晶體上表面凹凸的主要因素，如果引下過多就是凹界面，引下停留位置較高就是凸界面。你們有這個(gè)感覺嗎？如果是這樣，有什么道理？是高溫塑性形變引起的嗎？ |
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shirz
新蟲 (初入文壇)
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這是下降法典型問題 根源是孿晶 感謝孫老師給出個(gè)比較明確的方向。之前也看到有文章泛泛的說坩堝下降法的一個(gè)主要問題是容易多晶生長(zhǎng)，不過很少看到專業(yè)的文獻(xiàn)論述或者原因分析及消除的辦法。 之前沒有太注意孿晶，學(xué)習(xí)了下 http://baike.baidu.com/link?url=idpxIbYUz5azq_gGb8ppm_iYwLtyTyiRi4kyw0bVKhKq9LYInRktTIzq-G2-UXSL ，也就是說再熱力學(xué)上形成單晶和孿晶的區(qū)別不大，動(dòng)力學(xué)上由于有放肩部位坩堝壁的異質(zhì)成核，所以容易形成孿晶的多晶。不知道如何確定所形成的是孿晶多晶而不是普通的多晶？孿晶多晶的消除和普通多晶消除有什么差別？或者說由于界面能比較低，只是更難消除一些？換句話說，假如沒有坩堝壁的話就不會(huì)形成多晶？比如提拉法。是這樣的嗎。 如果能做到擴(kuò)肩部位坩堝內(nèi)壁薄層小范圍升溫或保溫較好（相對(duì)內(nèi)壁內(nèi)稍遠(yuǎn)一點(diǎn)的地方），是否可以減少孿晶多晶的形成？之前做過一個(gè)實(shí)驗(yàn)，在擴(kuò)肩部位加反射屏，可以基本消除晶體放肩部位白色粉末狀的碎多晶層，使晶體放肩部位和豎直側(cè)面一樣透亮，是不是這樣可以減少多晶概率？當(dāng)時(shí)做的那鍋多晶沒有消除，但如果這一思路可以減少生長(zhǎng)多晶的概率，有意義的話，我可以接著往下做做。 另外生長(zhǎng)單晶的穩(wěn)定態(tài)其實(shí)不是很脆弱，只要擴(kuò)肩部位單晶形成完成后，豎直生長(zhǎng)部分很少會(huì)生長(zhǎng)成多晶，即使有時(shí)候外界條件波動(dòng)比較劇烈也問題不是很大。也就是說，籽晶和豎直生長(zhǎng)都不是問題，問題是擴(kuò)肩。不知道大家有沒有實(shí)際一些的可以用以調(diào)整的經(jīng)驗(yàn)。不追求完全不出多晶，降低概率就很有意義了。 |
9樓2013-09-24 11:51:46
Daniel.Yu
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4樓2013-09-18 12:44:01
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