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小木蟲論壇-學(xué)術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 無機非金屬 » 綜合其它 » 氧化硅的腐蝕
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[求助]
氧化硅的腐蝕
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求助求助~~各位大神，除了HF和熱堿液外，還有什么溶劑可以刻蝕SiO2啊？ 因為我的硅基板表面有一層氧化層氧化硅，然后我只想刻蝕掉氧化硅，用HF會同時刻蝕我的PDMS，而用熱堿液又會把硅基板一起刻蝕。。。。 |
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xiehaimei515
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3樓2019-05-04 10:23:10
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