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minner__金蟲 (小有名氣)
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[求助]
高功率脈沖磁控濺射，求大神指導(dǎo)
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| 高功率脈沖磁控濺射沉積氮化鉻涂層，一個(gè)小時(shí)沒(méi)鍍上，求教可能的原因？ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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考慮過(guò)“反濺射”嗎？ 高峰值脈沖濺射會(huì)引起朗繆爾殼層極速擴(kuò)展，脈沖電壓消失瞬間，真空室內(nèi)的電場(chǎng)有瞬態(tài)畸變，無(wú)論基板是否懸浮，都可能在這個(gè)畸變電場(chǎng)作用下，Ar+沖向基板，將處在基板表面，尚處于高能態(tài)的剛剛沉積的原子或原子團(tuán)濺射掉。 判定途徑：用示波器仔細(xì)查看處于懸浮態(tài)基板的電壓波形，若出現(xiàn)絕對(duì)值很高的負(fù)脈沖（如大于200V），則可以認(rèn)為發(fā)生了反濺射。 若確認(rèn)發(fā)生的反濺射。試試這個(gè)措施：基板接地，或使用低內(nèi)阻電源施加不超過(guò)-70的偏壓。 |
27樓2013-11-22 21:10:23
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