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573214536專家顧問(wèn)
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求助：磁控濺射真空抽不上來(lái) 已有3人參與
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小蟲(chóng)今年研一，剛接觸磁控濺射，對(duì)設(shè)備還不是特別了解，最近開(kāi)學(xué)老板讓先抽抽真空，檢查下設(shè)備是否正常，結(jié)果為題來(lái)了，抽真空隔三差五的抽不上來(lái)。 都是低真空抽不上來(lái)，粗抽每次只能抽到2～3Pa，正常情況下應(yīng)該是抽到0.3Pa左右的，用的是油機(jī)械泵。 2月13號(hào)——23號(hào)抽過(guò)幾次全部正常， 23號(hào)抽不上來(lái)， 24號(hào)正常， 25號(hào)抽了兩次，第一次正常，第二次抽不上來(lái)， 26號(hào)正常，精抽最低到7×10*ˉ4，擴(kuò)散泵銘牌上標(biāo)注極限壓力5×10*ˉ4。 27號(hào)抽不上來(lái)， 28號(hào)（今天）抽不上來(lái)， 現(xiàn)在可以確定的是： 1、泵油沒(méi)有問(wèn)題。今天剛換過(guò)，結(jié)果跟沒(méi)換一樣，還是抽不上來(lái)。 2、系統(tǒng)漏氣基本可消除，26號(hào)精抽已可以近設(shè)備的極限真空。 3、前級(jí)閥、擴(kuò)散泵應(yīng)該沒(méi)問(wèn)題，問(wèn)題是出現(xiàn)在粗抽階段。 有兩個(gè)奇怪的現(xiàn)象就是，第一個(gè)是機(jī)械泵的聲音比較安靜。之前正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，開(kāi)粗抽之前機(jī)械泵噪音會(huì)比剛開(kāi)始的時(shí)候大，但是現(xiàn)在從開(kāi)始到粗抽一直都沒(méi)有變化，沒(méi)有噠噠噠噠的響聲，好像很疲軟一樣。第二個(gè)就是機(jī)械泵電動(dòng)機(jī)皮帶輪發(fā)熱嚴(yán)重，燙手，導(dǎo)師懷疑是皮帶打滑導(dǎo)致機(jī)械泵轉(zhuǎn)速不夠。還有其他可能否？有哪位遇到過(guò)相似情況的木有？求高手分析！求解決！不勝感激！ |
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
573214536: 金幣+8, ★★★很有幫助 2014-03-13 15:19:14
573214536: 金幣+8, ★★★很有幫助 2014-03-13 15:19:14
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輕微漏氣（真空度低） 把真空度不能抽到規(guī)定指標(biāo)的各種現(xiàn)象，都?xì)w結(jié)為漏氣。 原因： 1）真空泵密封性欠佳 2）油路調(diào)節(jié)得不合適，致使供油量過(guò)小或過(guò)大，切點(diǎn)間隙難形成密封油膜易于“反突破”串氣。 3）抽大氣時(shí)零部件輕微損壞。 4）閥門片密合不好，軸密封圈損壞，軸封缺油，摻氣閥未擰緊或密封墊等損壞，真空泵油不夠，旋片、轉(zhuǎn)子、彈簧損壞，泵腔被劃傷，裝配間隙過(guò)大。 建議按以下方案排查 1、真空泵（泵口）極限： 將機(jī)械泵在系統(tǒng)上拆下，加盲板及熱偶規(guī)管，對(duì)泵口測(cè)試。 泵口測(cè)真空度P≤1Pa 2、閥片檢查 壓簧檢查： 將機(jī)械泵的上蓋拆下，用手憑感覺(jué)對(duì)閥片及壓簧進(jìn)行測(cè)試。 閥片彈性好，無(wú)老化無(wú)裂傷，裝配試機(jī)時(shí)無(wú)異聲，油面平穩(wěn)。 3、旋片檢查 旋片彈簧： 拆裝方法（1）按放油方法放油，拆罩殼，三角帶，把泵從公共磨盤(pán)上拆下；（2）拆下外伸的低級(jí)泵蓋，拔出低級(jí)轉(zhuǎn)子；（3）取出低級(jí)旋片及彈簧銷和平鍵；（4）拆下皮帶輪、鍵、高級(jí)泵蓋，拉出高級(jí)轉(zhuǎn)子和旋片，拉轉(zhuǎn)時(shí)應(yīng)防止碰傷；（5）逐一拆下側(cè)蓋油盒及灰塵（6）對(duì)拆下的零部件逐一清洗，用汽油或丙酮，然后烘干。裝配反之。 4、檢查、修整（或更換）旋片，旋片彈簧換油。 旋片與轉(zhuǎn)子、定子的接觸面無(wú)劃痕；旋片彈簧彈性相同，有斷裂不良情況及時(shí)更換。 密封檢查軸承 拆裝過(guò)程中，檢查各密封件及高級(jí)轉(zhuǎn)子兩端的軸承。 油封彈性好、接觸面不老化，無(wú)裂傷， 軸承運(yùn)轉(zhuǎn)靈活無(wú)卡滯。 |
5樓2014-03-13 11:19:31
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