 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 查看: 1980 | 回復(fù): 6 | ||||
小珠珠alone新蟲 (初入文壇)
|
[求助]
有沒(méi)有濺射過(guò)IGZO靶材的 TFT方向 已有2人參與
|
| 我最近在長(zhǎng)有一層氮化硅的硅片上濺射IGZO，然后再蒸鍍一層鋁電極，因?yàn)榈韫杵浅善�，所以想通過(guò)這種方式，測(cè)試一下什么樣的條件下，濺射的IGZO薄膜最好，才開始在不摻氧的情況下，功率30，40W，濺射時(shí)間半個(gè)小時(shí)的時(shí)候，有一丁點(diǎn)的效果，但是開啟電流大，且關(guān)不斷，最后趨于平行的直線，其他濺射時(shí)間長(zhǎng)的都直接是直線。然后就想著摻氧，Ar:O2為3：1，10：1，時(shí)，都開不了，電流很小，就想著少摻些，然后查文獻(xiàn)，設(shè)功率為50W，真空度為0.5帕，Ar:O2為30：1，發(fā)現(xiàn)濺射時(shí)間40分鐘的時(shí)候有些效果，而且比沒(méi)有摻氧的效果要好一下，但是也有點(diǎn)關(guān)不斷。就想著再多濺射一會(huì)，然后又濺射了兩個(gè)片子，分別為60min,和80min，測(cè)試效果竟然都是直線，沒(méi)有一丁點(diǎn)場(chǎng)效應(yīng)，為什么會(huì)這樣？到底是什么原因，一直長(zhǎng)不好呢？濺射氧化鋅的時(shí)候，有場(chǎng)效應(yīng)。濺射IGZO，怎么才能濺射好呢？ |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 磁控濺射靶材資料大全 | 半導(dǎo)體技術(shù) |
» 猜你喜歡
可生物降解聚酯正在重塑現(xiàn)代醫(yī)療器械
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
26屆博士申請(qǐng)
已經(jīng)有4人回復(fù)
-
有機(jī)高分子材料論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有217人回復(fù)
-
PLLA 微球在生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的研究與應(yīng)用
已經(jīng)有1人回復(fù)
-
PLLA 微球的材料特性與制備工藝解析
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
醫(yī)用聚己內(nèi)酯（PCL）全解析：從兩段式降解到組織工程應(yīng)用
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
反相硅膠如何再生？
已經(jīng)有1人回復(fù)
-
哈爾濱理工大學(xué)2026年研究生調(diào)劑，材料科學(xué)與化學(xué)工程學(xué)院研究生調(diào)劑
已經(jīng)有3人回復(fù)
-
武漢一本高校招收材料、化學(xué)、高分子、紡織、生物相關(guān)專業(yè)碩士生
已經(jīng)有0人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 深平板顯示行業(yè)協(xié)會(huì)孫政民呼吁盡快攻克ITO靶材的制備技術(shù)
已經(jīng)有6人回復(fù)
- 高密度 （相對(duì)密度大于99%）IGZO靶材的 理論密度是多少？
已經(jīng)有5人回復(fù)
1066433383
銀蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 414.3
- 散金: 20
- 帖子: 188
- 在線: 12.2小時(shí)
- 蟲號(hào): 1821614
- 注冊(cè): 2012-05-16
- 性別: MM
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
2樓2014-06-03 10:47:08
3樓2014-06-19 10:11:16
1066433383
銀蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 414.3
- 散金: 20
- 帖子: 188
- 在線: 12.2小時(shí)
- 蟲號(hào): 1821614
- 注冊(cè): 2012-05-16
- 性別: MM
- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2014-08-28 09:51:05
jiangcs02
銀蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 235
- 帖子: 75
- 在線: 153.9小時(shí)
- 蟲號(hào): 4311610
- 注冊(cè): 2015-12-25
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2015-12-29 10:05:46
Mr.Wang
新蟲 (初入文壇)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 19.7
- 帖子: 15
- 在線: 6.1小時(shí)
- 蟲號(hào): 2140210
- 注冊(cè): 2012-11-21
- 專業(yè): 半導(dǎo)體光電子器件
6樓2016-09-29 15:38:10
7樓2017-11-01 21:40:35
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 小珠珠alone 的主題更新
| 7 | 1/1 | 返回列表 |
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考研] 286求調(diào)劑 +10 | Faune 2026-03-21 | 10/500 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研]
 一志愿東華大學(xué)控制學(xué)碩320求調(diào)劑
+3
|
Grand777 2026-03-21 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 材料學(xué)碩333求調(diào)劑 +3 | 北道巷 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 307求調(diào)劑 +3 | 余意卿 2026-03-18 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 302求調(diào)劑 +12 | 呼呼呼。。。。 2026-03-17 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 316求調(diào)劑 +6 | 梁茜雯 2026-03-19 | 6/300 |
|
|
[考研] 二本跨考鄭大材料306英一數(shù)二 +3 | z1z2z3879 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 一志愿南昌大學(xué)，327分，材料與化工085600 +9 | Ncdx123456 2026-03-19 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 085600材料與化工 +8 | 安全上岸！ 2026-03-16 | 8/400 |
|
|
|
[考研]
 295復(fù)試調(diào)劑
+8
|
簡(jiǎn)木ChuFront 2026-03-19 | 8/400 |
|
|
|
[考研] 353求調(diào)劑 +3 | 拉鉤不許變 2026-03-20 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 08工學(xué)調(diào)劑 +5 | 用戶573181 2026-03-20 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 328求調(diào)劑，英語(yǔ)六級(jí)551，有科研經(jīng)歷 +4 | 生物工程調(diào)劑 2026-03-16 | 12/600 |
|
|
|
[考研] 一志愿985，本科211，0817化學(xué)工程與技術(shù)319求調(diào)劑 +10 | Liwangman 2026-03-15 | 10/500 |
|
|
|
[考研] 本科鄭州大學(xué)物理學(xué)院，一志愿華科070200學(xué)碩，346求調(diào)劑 +4 | 我不是一根蔥 2026-03-18 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 0703化學(xué)調(diào)劑 +3 | 妮妮ninicgb 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
|
[碩博家園] 湖北工業(yè)大學(xué) 生命科學(xué)與健康學(xué)院-課題組招收2026級(jí)食品/生物方向碩士 +3 | 1喜春8 2026-03-17 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 有沒(méi)有道鐵/土木的想調(diào)劑南林，給自己招師弟中～ +3 | TqlXswl 2026-03-16 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 321求調(diào)劑 +5 | 大米飯！ 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 0856專碩279求調(diào)劑 +5 | 加油加油！? 2026-03-15 | 5/250 |
|