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Mr_Au金蟲 (初入文壇)
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[求助]
直流磁控濺射硅薄膜的問題。 已有1人參與
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| 有沒有用直流磁控濺射鍍過硅薄膜的同學(xué)？有沒有遇到過一種情況就是濺射出來時(shí)候，薄膜均勻性完整性都特別的好。但是放置一段時(shí)間后，再去移動(dòng)那塊薄膜的時(shí)候，可以看到薄膜局部開始起皺，緊接著就延伸到整塊薄膜。這時(shí)候用洗耳球去吹表面也不能把膜吹落！這時(shí)神馬情況？我覺得是我用直流濺射，成膜速率過大，來不及釋放應(yīng)力就成膜，導(dǎo)致薄膜后來釋放應(yīng)力而弄成的，不知道這樣的解釋有沒有道理？ |
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small421
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2樓2015-12-14 17:12:11
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