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離子輔助磁控濺射鍍膜的優(yōu)點有哪些 已有1人參與
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| 離子輔助磁控濺射鍍膜的優(yōu)點,其可以提高膜層的那些性能,舉例說明? |
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【答案】應(yīng)助回帖
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潘大腿: 金幣+15, ★有幫助 2014-12-06 16:39:01
潘大腿: 金幣+15, ★有幫助 2014-12-06 16:39:01
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離子束輔助磁控濺射分兩種： 1） 常規(guī)的情況下，離子源和磁控濺射不能同時工作。因為工作壓力不同 鍍膜前，用離子源進行基片清洗，提高膜層和基片的結(jié)合力。 當然也可以采用其他方式對基片清洗 在鍍膜后，用離子源對膜層進行轟擊，這樣可以提高膜層的致密度。 間歇式的鍍膜，先鍍膜一會，用離子源轟擊一下，然后在鍍膜，離子源在轟擊。這樣可以提高膜層的致密度，打掉結(jié)合力不好的膜。 當然轟擊的能量需要控制合理。 2） 離子源和磁控濺射可以同時工作，需要特殊設(shè)計，一般只有研發(fā)行業(yè)，可以用用。實際生產(chǎn)很難實現(xiàn)。究竟同時工作的效果有多少，各家說法不同。 同時工作，最大的好處是，可以邊鍍膜，邊轟擊。提高膜層的結(jié)合力和致密度。對于磁性材料，可能會改變膜層的結(jié)構(gòu)。 如果控制不好，可以鍍上的膜，會被離子源轟擊掉 |
2樓2014-06-13 00:19:28
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離子束輔助磁控濺射鍍ITO，優(yōu)點 1，Ar+預(yù)處理可以有效提高基片表面清潔度，去除媳婦雜質(zhì)，提高塑料幾片表面活性，增加官能團種類及數(shù)量，有利于薄膜與幾片形成氫鍵及共價鍵結(jié)合，提高薄膜附著力。 2，透光度增加，粒子轟擊引起的能量交換和棟梁傳遞不斷加強，幾片表面的院子或原子簇將獲得足夠能量以克服表面勢壘，形成擇優(yōu)取向的多晶態(tài)薄膜，因薄膜結(jié)構(gòu)缺陷減少使得光子散射和漫反射的概率降低，內(nèi)光電效應(yīng)減弱，可見光透過率增加。 3，面電阻下降，離子束使幾片表面粒子束流密度相應(yīng)提高，薄膜的院子或原子團因李子轟擊而獲得能量，表面遷移能提高 4， 5， 6 7， |
3樓2014-06-20 08:46:09
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