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北溟之魚(yú)

金蟲(chóng) (小有名氣)

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性別: GG
專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)

[求助] 納米柱刻蝕缺陷如何消除

1. 在GaN/InGaN LED上，用FIB刻蝕形成直徑200納米、高800納米的納米柱，采用微區(qū)PL測(cè)試發(fā)現(xiàn)，做結(jié)構(gòu)的區(qū)域幾乎不發(fā)光，是不是由于刻蝕缺陷的存在？
采用什么方法能有效清除掉刻蝕缺陷
2. 直徑200納米、高800納米的GaN/InGaN 多量子阱納米柱，采用超聲波清洗時(shí)，會(huì)不會(huì)把這些納米柱給震斷了

請(qǐng)懂的朋友幫忙講一下。

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1樓 2014-06-17 17:05:18

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