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raaishenghuo鐵桿木蟲 (小有名氣)
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[交流]
關(guān)于去除硅片氧化層 已有2人參與
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| 3:1的H2SO4/H2O2 叫做piranha溶液,強(qiáng)氧化性。 硅片經(jīng)此溶液處理后反而會形成氧化層,厚度可以用ellipsomertry測量,大概在0.8nm。含HF的試劑可以去除氧化層,但是同時也腐蝕硅片,增加表面粗糙度。建議用還原性氣體plasma處理硅片去除氧化層,例如氫氣。 |
Si粗化 |

鐵桿木蟲 (小有名氣)

木蟲之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
木蟲之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
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