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TAODEE新蟲 (初入文壇)
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[求助]
ICP刻蝕光刻負(fù)膠SU-8 已有1人參與
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請問有沒有同學(xué)用ICP刻蝕常見光刻膠su8的結(jié)構(gòu)層？我用壓印的方法做的結(jié)構(gòu)，然后用ICP氧等離子體刻蝕殘余的su8膠層。 但是發(fā)現(xiàn)刻蝕到一定程度后發(fā)現(xiàn)，殘余層刻蝕不動了，結(jié)構(gòu)別的地方刻蝕正常。請教大神如何解決，萬分感謝。 （殘余層距離結(jié)構(gòu)頂端大約13微米左右） 附圖刻蝕前后截面SEM照片。 刻蝕后刻不動.jpg 刻蝕前 .jpg |
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TAODEE
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4樓2014-10-09 21:43:12
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5樓2014-10-10 10:56:37
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