chenjiahao

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[求助] 關(guān)于真空檢漏已有6人參與

求助各位大神，我們是做磁控濺射鍍膜，要抽真空至2E10-4，先從大氣壓用機(jī)械泵抽至5Pa，然后用分子泵開(kāi)始抽，還是能抽到2E10-4，但是時(shí)間更久了，前后要花7-8個(gè)小時(shí)，而以前卻只要3個(gè)多小時(shí)。維修：拆了氣路上的兩個(gè)電磁閥以及波紋管，都進(jìn)行了清洗重新安裝，然后抽真空至10E-4，在氣路的連接口噴酒精，氣壓儀表沒(méi)有任何波動(dòng)。測(cè)試漏汽濾：頭一天晚上8點(diǎn)抽至9.5E10-4，關(guān)機(jī)時(shí)6.5E10-2，第二天早8點(diǎn)0.20pa；對(duì)比以前是0.45Pa,漏氣來(lái)說(shuō)現(xiàn)在漏率更低。還有什么原因能使抽速變得這么低呢，outgasing（腔室內(nèi)雜質(zhì)放氣）的影響有這么大么？
希望各位大神多多幫忙，小弟被老板罵成豬頭了。

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1樓 2014-11-04 09:30:54

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銀蟲(chóng) (知名作家)

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chenjiahao: 金幣+3, ★有幫助 2014-11-05 15:55:55

極限真空能到要求，泵應(yīng)該沒(méi)問(wèn)題。但是時(shí)間變長(zhǎng)，應(yīng)該是真空室污染或者管道吸附氣體太多了，建議清晰鍍膜室然后烘烤。

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5樓2014-11-04 21:34:54

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chenjiahao: 金幣+3, ★有幫助 2014-11-04 10:41:14

1各連接處涂些玻璃膠。
2天冷各部件、密封等收縮，間隙變大，也有原因。
3同時(shí)氣溫低，第二天早8點(diǎn)比以前真空低也正常。

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2樓2014-11-04 10:10:28

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chenjiahao

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引用回帖:

2樓: Originally posted by 南京的李工 at 2014-11-04 10:10:28
1各連接處涂些玻璃膠。
2天冷各部件、密封等收縮，間隙變大，也有原因。
3同時(shí)氣溫低，第二天早8點(diǎn)比以前真空低也正常。

這個(gè)在8月份很熱的時(shí)候就這樣了，后來(lái)清理了腔室，稍微好了一點(diǎn)，現(xiàn)在又慢了。

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3樓2014-11-04 10:40:59

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141015

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4樓2014-11-04 20:26:59

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4樓: Originally posted by 141015 at 2014-11-04 20:26:59
1，如果你的腔體是橡膠圈門(mén)。要用酒精棉擦拭橡膠圈以及門(mén)壁。
2，腔體應(yīng)該清洗了，所有的能拆的拆下倆細(xì)砂紙打磨，然后超聲清洗干凈，烘烤箱一定要烤干。
3.靶材吸潮也有可能，將靶材取出來(lái)抽一下看看行不行。
4 ...

謝謝你，我們把橡膠圈都換了新的，進(jìn)行了清洗，擦拭了門(mén)框，腔室加熱烘烤過(guò)，所有的閥都在（6-8)E-4時(shí)，噴過(guò)酒精，儀表顯示的壓強(qiáng)數(shù)值沒(méi)有變化。開(kāi)倉(cāng)門(mén)半小時(shí)，我們用除濕機(jī)實(shí)驗(yàn)室濕度常年維持在55%以下。

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6樓2014-11-05 14:32:08

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7樓2014-11-05 15:08:01

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wtxlx04

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chenjiahao: 金幣+2, ★有幫助 2014-11-07 08:17:45

從你的描述基本排除一切漏，臟等放氣的可能性。
那么只有從泵的能力分析。分子泵有循環(huán)水么，燙么，和以前比如何？

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8樓2014-11-06 00:44:26

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gege43

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你用的機(jī)械泵是什么類(lèi)型，干泵還是油泵，干泵的話(huà)有可能是改換里面的線圈了時(shí)間長(zhǎng)的磨損嚴(yán)重

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9樓2014-11-06 09:25:18

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8樓: Originally posted by wtxlx04 at 2014-11-06 00:44:26
從你的描述基本排除一切漏，臟等放氣的可能性。
那么只有從泵的能力分析。分子泵有循環(huán)水么，燙么，和以前比如何？

有循環(huán)水，工作時(shí)泵比較涼，泵抽速怎么測(cè)試呢?

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10樓2014-11-07 08:17:27

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