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chenjiahao木蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于真空檢漏 已有6人參與
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求助各位大神，我們是做磁控濺射鍍膜，要抽真空至2E10-4，先從大氣壓用機(jī)械泵抽至5Pa，然后用分子泵開始抽，還是能抽到2E10-4，但是時(shí)間更久了，前后要花7-8個(gè)小時(shí)，而以前卻只要3個(gè)多小時(shí)。維修：拆了氣路上的兩個(gè)電磁閥以及波紋管，都進(jìn)行了清洗重新安裝，然后抽真空至10E-4，在氣路的連接口噴酒精，氣壓儀表沒有任何波動。測試漏汽濾：頭一天晚上8點(diǎn)抽至9.5E10-4，關(guān)機(jī)時(shí)6.5E10-2，第二天早8點(diǎn)0.20pa；對比以前是0.45Pa,漏氣來說現(xiàn)在漏率更低。還有什么原因能使抽速變得這么低呢，outgasing（腔室內(nèi)雜質(zhì)放氣）的影響有這么大么？ 希望各位大神多多幫忙，小弟被老板罵成豬頭了。 |
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 制程設(shè)備維護(hù)保養(yǎng) |
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9樓2014-11-06 09:25:18
南京的李工
禁言 (文壇精英)
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2樓2014-11-04 10:10:28
chenjiahao
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3樓2014-11-04 10:40:59
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
chenjiahao: 金幣+3, ★★★很有幫助 2014-11-05 11:29:56
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4樓2014-11-04 20:26:59
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