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chenjiahao木蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于真空檢漏 已有6人參與
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求助各位大神，我們是做磁控濺射鍍膜，要抽真空至2E10-4，先從大氣壓用機(jī)械泵抽至5Pa，然后用分子泵開始抽，還是能抽到2E10-4，但是時間更久了，前后要花7-8個小時，而以前卻只要3個多小時。維修：拆了氣路上的兩個電磁閥以及波紋管，都進(jìn)行了清洗重新安裝，然后抽真空至10E-4，在氣路的連接口噴酒精，氣壓儀表沒有任何波動。測試漏汽濾：頭一天晚上8點抽至9.5E10-4，關(guān)機(jī)時6.5E10-2，第二天早8點0.20pa；對比以前是0.45Pa,漏氣來說現(xiàn)在漏率更低。還有什么原因能使抽速變得這么低呢，outgasing（腔室內(nèi)雜質(zhì)放氣）的影響有這么大么？ 希望各位大神多多幫忙，小弟被老板罵成豬頭了。 |
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5樓2014-11-04 21:34:54
南京的李工
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2樓2014-11-04 10:10:28
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3樓2014-11-04 10:40:59
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4樓2014-11-04 20:26:59
chenjiahao
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6樓2014-11-05 14:32:08
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7樓2014-11-05 15:08:01
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chenjiahao
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10樓2014-11-07 08:17:27
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