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[求助] 求助光刻套刻的問(wèn)題已有4人參與

本人想用掩膜進(jìn)行光刻制作模板，最小精度要求能達(dá)到2um，需要套刻，套刻的對(duì)準(zhǔn)精度要求為1um左右，請(qǐng)問(wèn)各位蟲(chóng)友有誰(shuí)知道哪個(gè)公司或者科研單位可以做，感激不盡！

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1樓 2014-12-03 16:17:46

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spiderman504

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【答案】應(yīng)助回帖

★ ★
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磬鄉(xiāng): 金幣+2, ★有幫助 2014-12-03 21:04:13

你在哪里？你的光刻要求不是很高，一般的高校，只要有做半導(dǎo)體的都會(huì)有光刻機(jī)，要套刻的話，你的第一次光刻要先做上定位標(biāo)記。

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由于您的簽名過(guò)于個(gè)性，小木蟲(chóng)暫時(shí)無(wú)法顯示。。。

2樓2014-12-03 17:02:29

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磬鄉(xiāng)

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2樓: Originally posted by spiderman504 at 2014-12-03 17:02:29
你在哪里？你的光刻要求不是很高，一般的高校，只要有做半導(dǎo)體的都會(huì)有光刻機(jī)，要套刻的話，你的第一次光刻要先做上定位標(biāo)記。

我現(xiàn)在在杭州這邊，你知道有哪些高�？梢宰鰡幔恐x啦~

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3樓2014-12-03 19:47:15

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yuanxin5254

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【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

浙大可以做啊，浙大的光電子實(shí)驗(yàn)室有光刻機(jī)，在紫荊港那邊，不過(guò)他的光刻機(jī)很爛的，你可以聯(lián)系個(gè)賣光刻機(jī)的公司，對(duì)他們來(lái)說(shuō)你的要求是小菜一碟。

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我們堅(jiān)持做一件事情，并不是這樣做了有效果，而是堅(jiān)信，這樣做了是對(duì)的。

4樓2014-12-03 19:55:13

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4樓: Originally posted by yuanxin5254 at 2014-12-03 19:55:13
浙大可以做啊，浙大的光電子實(shí)驗(yàn)室有光刻機(jī)，在紫荊港那邊，不過(guò)他的光刻機(jī)很爛的，你可以聯(lián)系個(gè)賣光刻機(jī)的公司，對(duì)他們來(lái)說(shuō)你的要求是小菜一碟。

你說(shuō)的是何賽靈老師那邊嗎？他們的套刻對(duì)準(zhǔn)精度能達(dá)到多少呢？還有有沒(méi)有其他的公司或者科研單位也可以做��？求聯(lián)系方式~

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5樓2014-12-03 20:03:11

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yuanxin5254

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5樓: Originally posted by 磬鄉(xiāng) at 2014-12-03 20:03:11
你說(shuō)的是何賽靈老師那邊嗎？他們的套刻對(duì)準(zhǔn)精度能達(dá)到多少呢？還有有沒(méi)有其他的公司或者科研單位也可以做��？求聯(lián)系方式~...

上海有很多，有個(gè)叫上海微高的，你聯(lián)系聯(lián)系，不過(guò)做一次要很多錢的。無(wú)錫也有。

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我們堅(jiān)持做一件事情，并不是這樣做了有效果，而是堅(jiān)信，這樣做了是對(duì)的。

6樓2014-12-03 20:19:16

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ww5286

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對(duì)紫外來(lái)說(shuō)你的要求非常非常高了，我覺(jué)得高校研究所應(yīng)該做不了，聯(lián)系公司吧，那么高精度為什么不用電子束，面積很大嗎

[ 發(fā)自手機(jī)版 http://www.gaoyang168.com/3g ]

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7樓2014-12-03 22:46:33

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7樓: Originally posted by ww5286 at 2014-12-03 22:46:33
對(duì)紫外來(lái)說(shuō)你的要求非常非常高了，我覺(jué)得高校研究所應(yīng)該做不了，聯(lián)系公司吧，那么高精度為什么不用電子束，面積很大嗎

我們是準(zhǔn)備用電子束曝光做兩塊掩膜，然后用光刻將兩塊掩膜對(duì)準(zhǔn)，跪求推薦相關(guān)的公司，謝謝~

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8樓2014-12-04 09:03:13

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yswyx

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8樓: Originally posted by 磬鄉(xiāng) at 2014-12-04 09:03:13
我們是準(zhǔn)備用電子束曝光做兩塊掩膜，然后用光刻將兩塊掩膜對(duì)準(zhǔn)，跪求推薦相關(guān)的公司，謝謝~...

你的描述非常的不清楚，當(dāng)然，也被樓上眾多二把刀誤導(dǎo)了。
按照你原文的要求，2um的分辨率，1um的對(duì)準(zhǔn)精度，可以用接觸式光刻完成。
什么叫用光刻將兩塊掩膜對(duì)準(zhǔn)？按照我從你上下文意思的理解，你這一句話三個(gè)關(guān)鍵詞用錯(cuò)了倆，讓人看著很崩潰。
把你的技術(shù)要求發(fā)到這個(gè)郵箱，wangyx@resemi.com，記住要有流程圖，要有詳細(xì)說(shuō)明，否則效率太低。

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9樓2014-12-04 18:56:40

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