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[求助]
求助光刻 套刻的問題 已有4人參與
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| 本人想用掩膜進行光刻制作模板，最小精度要求能達到2um，需要套刻，套刻的對準(zhǔn)精度要求為1um左右，請問各位蟲友有誰知道哪個公司或者科研單位可以做，感激不盡！ |
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spiderman504
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yuanxin5254
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【答案】應(yīng)助回帖
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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你的描述非常的不清楚，當(dāng)然，也被樓上眾多二把刀誤導(dǎo)了。 按照你原文的要求，2um的分辨率，1um的對準(zhǔn)精度，可以用接觸式光刻完成。 什么叫用光刻將兩塊掩膜對準(zhǔn)？按照我從你上下文意思的理解，你這一句話三個關(guān)鍵詞用錯了倆，讓人看著很崩潰。 把你的技術(shù)要求發(fā)到這個郵箱，wangyx@resemi.com，記住要有流程圖，要有詳細說明，否則效率太低。 |
9樓2014-12-04 18:56:40
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