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黑夜彩虹43新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射金屬時(shí)候遇到薄膜被氧化，怎么辦 已有1人參與
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| 我在磁控濺射時(shí)候檢查了真空度，絕對抽到要求的標(biāo)準(zhǔn)，然后濺射時(shí)候通的氬氣，按理說不會(huì)有氧化現(xiàn)象，可是濺射金屬合金時(shí)候就會(huì)出現(xiàn)逐層被氧化的情況，應(yīng)該是邊濺射邊氧化的，嚴(yán)重影響實(shí)驗(yàn)效果，而同樣操作用于制做同種純金屬就不會(huì)出現(xiàn)，請求幫助，謝謝了 |
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2樓2014-12-17 17:16:07
黑夜彩虹43
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5樓2016-05-10 11:49:25
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