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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 金屬 » 交流互助 » 磁控濺射金屬時候遇到薄膜被氧化，怎么辦
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[求助]
磁控濺射金屬時候遇到薄膜被氧化，怎么辦 已有1人參與
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| 我在磁控濺射時候檢查了真空度，絕對抽到要求的標準，然后濺射時候通的氬氣，按理說不會有氧化現(xiàn)象，可是濺射金屬合金時候就會出現(xiàn)逐層被氧化的情況，應該是邊濺射邊氧化的，嚴重影響實驗效果，而同樣操作用于制做同種純金屬就不會出現(xiàn)，請求幫助，謝謝了 |
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1-maker
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cyg376116
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5樓2016-05-10 11:49:25
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