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在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上有層SiO2薄膜,用AFM測厚度該怎么制樣。 已有11人參與
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RT,在玻璃或者ITO玻璃上或者硅片上長了一層10nm 左右的SiO2薄膜,打算用AFM測厚度,那我該怎么制樣。用針劃?這樣會(huì)不會(huì)把基底劃破,或者Sio2薄膜能劃破嗎?或者利用光刻的方法制作邊緣? 沒做過AFM,所以完全不懂,求指教。非常感謝 |
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