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丫丫^_^

新蟲(chóng) (初入文壇)

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[求助] 光刻后去膠不均勻怎么解決已有9人參與

光刻后顯影，去膠不均勻，可能是我的圖案間距太小了，怎么解決啊

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1樓 2015-01-13 16:43:49

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exciting73

金蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)

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丫丫^_^: 金幣+1 2015-01-14 09:30:59

光刻圖案間距能小到什么程度？能不能把工藝條件列下？可站內(nèi)短消息聯(lián)系

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3樓2015-01-13 20:57:51

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石銀東

木蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)

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如果是雜質(zhì)或者殘屑的話，可以考慮用等離子清洗機(jī)進(jìn)行超潔凈清洗。
如果不是的話，優(yōu)化光刻工藝的參數(shù)，或者改變光刻的方法。

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2樓2015-01-13 17:19:25

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spiderman504

金蟲(chóng) (小有名氣)

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丫丫^_^: 金幣+1 2015-01-14 09:34:58

是一直這樣，還是你吧光刻圖形間距減小才出現(xiàn)這種情況？一般在光刻膠的工藝線寬內(nèi)的，都能顯影干凈。你可以試著增大曝光量，顯影時(shí)間加長(zhǎng)一點(diǎn)試一下。如果不行的話，有沒(méi)有可能光刻膠使用時(shí)間太長(zhǎng)，保存的不好，已經(jīng)變質(zhì)了，換新膠試一下。

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4樓2015-01-13 23:41:39

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心如止水1989

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5樓2015-01-14 00:48:50

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