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[交流] 磁控濺射旋轉(zhuǎn)靶消耗不均勻已有5人參與

孿生磁控濺射靶在長(zhǎng)久使用中發(fā)現(xiàn)某一點(diǎn)消耗比較快，這事為什么呢？

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1樓 2015-03-27 20:42:55

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引用回帖:

6樓: Originally posted by peterflyer at 2015-03-29 17:10:00
也有可能是磁場(chǎng)的問(wèn)題，導(dǎo)致某一部分的靶材部位受到更多的離子轟擊。

我也考慮過(guò)這個(gè)問(wèn)題但是其他的靶位也出現(xiàn)這種問(wèn)題，不至于安裝設(shè)備時(shí)所有靶位都出問(wèn)題吧，最奇怪的一點(diǎn)，同一靶位兩根靶材的位置出現(xiàn)在對(duì)角線的位置，考慮過(guò)水冷卻的問(wèn)題，但是解釋不通

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7樓2015-03-29 23:30:38

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應(yīng)該是靶材的問(wèn)題，靶材的純度不對(duì)，或者是靶材的致密度不好。造成這些問(wèn)題的原因都是廠家生產(chǎn)靶材的工藝有關(guān)。

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2樓2015-03-29 00:09:07

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引用回帖:

2樓: Originally posted by a123266171 at 2015-03-29 00:09:07
應(yīng)該是靶材的問(wèn)題，靶材的純度不對(duì)，或者是靶材的致密度不好。造成這些問(wèn)題的原因都是廠家生產(chǎn)靶材的工藝有關(guān)。

孿生靶材同時(shí)使用，但是這種情況發(fā)生在對(duì)角線上，所以貌似跟靶材致密度關(guān)系不大吧，新靶剛使用沒(méi)有特地選擇某一邊來(lái)裝，都是隨便選一頭來(lái)裝，但是換過(guò)幾套靶來(lái)試，結(jié)果都是一樣，所以這種可能性應(yīng)該不大。

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3樓2015-03-29 00:39:30

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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖

旋轉(zhuǎn)靶也會(huì)出現(xiàn)消耗不勻的現(xiàn)象？

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4樓2015-03-29 11:31:44

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