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霧之祥至尊木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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[求助]
XPS半定量計(jì)算問(wèn)題求解。 已有2人參與
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看了小木蟲(chóng)一些資料，也算有所收獲。再次衷心感謝那些付出過(guò)的蟲(chóng)友，也知道了XPS頂多是在surface層面進(jìn)行的半定量計(jì)算。但現(xiàn)在小弟仍有些不明白之處，還望打什么賜教。 比方說(shuō)，現(xiàn)在有一合成薄膜Cu3N，合成過(guò)程中如果有微量的O進(jìn)去了�，F(xiàn)在小弟想計(jì)算一下O/N比。小弟也窄掃了O1s和N1s。以及Cu 2p。O1s在530eV左右可以分為兩個(gè)峰，N1s本來(lái)就兩個(gè)峰（窄掃），但用XPS PEAK分峰后，O1s處的峰面積比N1s兩個(gè)峰面積之和還高幾倍。這是咋回事呢？XRD掃描結(jié)果顯示，樣品中幾乎都是Cu3N啊。按照靈敏度因子計(jì)算還不成CuO或Cu2O了？ 因?yàn)镹-Cu也是結(jié)合的，這可以從Cu 2p窄掃圖上一目了然，那么這部分N不算到正體N含量里面去嗎？（也就是說(shuō)這部分N不該加到靈敏度因子計(jì)算法的分子分母上去嗎？） 也不知道我能否將我自己的問(wèn)題表述清楚，如有不太明白問(wèn)題的可以聯(lián)系我。真的很期待大家的積極發(fā)言。 |
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
霧之祥: 金幣+5, ★★★很有幫助, 謝謝賜教，還有些問(wèn)題可以深究一下嗎？我在回復(fù)中請(qǐng)教。一點(diǎn)金幣聊表心意�。�！ 2015-04-04 00:49:09
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
霧之祥: 金幣+5, ★★★很有幫助, 謝謝賜教，還有些問(wèn)題可以深究一下嗎？我在回復(fù)中請(qǐng)教。一點(diǎn)金幣聊表心意�。�！ 2015-04-04 00:49:09
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XPS因?yàn)槭请娮幽茏V手段，探測(cè)的是最后出射的電子信息，電子在材料內(nèi)部逃逸深度在幾個(gè)nm的尺度，因此XPS技術(shù)探測(cè)深度在幾個(gè)nm到10個(gè)nm左右。而你制備的樣品如果沒(méi)有好好保存的話，基本上都會(huì)有很嚴(yán)重的表面C、O污染。所以你看到的這些C、O含量很有可能并不是你材料本身含有的，是表面污染。 而你如果做EDS、XRD等技術(shù)探測(cè)的是出射X光信息，在材料表面逃逸深度達(dá)到微米尺度，因此探測(cè)深度在幾個(gè)微米甚至更深，就不會(huì)出現(xiàn)這些問(wèn)題。 有時(shí)候，人們以為 XPS測(cè)試的時(shí)候需要加入元素碳（284.6eV)作為內(nèi)標(biāo)，這是不對(duì)的。C并不是做XPS的時(shí)候加入的，XPS測(cè)試不會(huì)往樣品上加任何東西。這部分C是因?yàn)槟銟悠繁４婊蛘咿D(zhuǎn)移過(guò)程中污染引入的。 |
4樓2015-04-03 21:02:53
dwysd
木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)
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2樓2015-04-02 16:35:21
霧之祥
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3樓2015-04-03 15:52:10
dwysd
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5樓2015-04-03 21:56:53
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