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XPS半定量計(jì)算問題求解。 已有2人參與
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看了小木蟲一些資料,也算有所收獲。再次衷心感謝那些付出過的蟲友,也知道了XPS頂多是在surface層面進(jìn)行的半定量計(jì)算。但現(xiàn)在小弟仍有些不明白之處,還望打什么賜教。 比方說,現(xiàn)在有一合成薄膜Cu3N,合成過程中如果有微量的O進(jìn)去了,F(xiàn)在小弟想計(jì)算一下O/N比。小弟也窄掃了O1s和N1s。以及Cu 2p。O1s在530eV左右可以分為兩個(gè)峰,N1s本來就兩個(gè)峰(窄掃),但用XPS PEAK分峰后,O1s處的峰面積比N1s兩個(gè)峰面積之和還高幾倍。這是咋回事呢?XRD掃描結(jié)果顯示,樣品中幾乎都是Cu3N啊。按照靈敏度因子計(jì)算還不成CuO或Cu2O了? 因?yàn)镹-Cu也是結(jié)合的,這可以從Cu 2p窄掃圖上一目了然,那么這部分N不算到正體N含量里面去嗎?(也就是說這部分N不該加到靈敏度因子計(jì)算法的分子分母上去嗎?) 也不知道我能否將我自己的問題表述清楚,如有不太明白問題的可以聯(lián)系我。真的很期待大家的積極發(fā)言。 |
材料表征好帖 |
木蟲 (著名寫手)
木蟲 (著名寫手)
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XPS因?yàn)槭请娮幽茏V手段,探測的是最后出射的電子信息,電子在材料內(nèi)部逃逸深度在幾個(gè)nm的尺度,因此XPS技術(shù)探測深度在幾個(gè)nm到10個(gè)nm左右。而你制備的樣品如果沒有好好保存的話,基本上都會(huì)有很嚴(yán)重的表面C、O污染。所以你看到的這些C、O含量很有可能并不是你材料本身含有的,是表面污染。 而你如果做EDS、XRD等技術(shù)探測的是出射X光信息,在材料表面逃逸深度達(dá)到微米尺度,因此探測深度在幾個(gè)微米甚至更深,就不會(huì)出現(xiàn)這些問題。 有時(shí)候,人們以為 XPS測試的時(shí)候需要加入元素碳(284.6eV)作為內(nèi)標(biāo),這是不對(duì)的。C并不是做XPS的時(shí)候加入的,XPS測試不會(huì)往樣品上加任何東西。這部分C是因?yàn)槟銟悠繁4婊蛘咿D(zhuǎn)移過程中污染引入的。 |

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