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chankityi木蟲 (正式寫手)
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[求助]
關(guān)于電子束蒸發(fā)生長(zhǎng)薄膜 已有2人參與
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| 請(qǐng)問有做過電子束蒸發(fā)的同學(xué)：本人最近在做電子束蒸發(fā)鍺的實(shí)驗(yàn)，開始時(shí)坩堝里放的鍺粉，用電子束讓它結(jié)塊后當(dāng)做料進(jìn)行蒸發(fā)。每次做實(shí)驗(yàn)前會(huì)往坩堝里添一點(diǎn)新粉料進(jìn)去。但是發(fā)現(xiàn)粉料做出來(lái)薄膜重復(fù)性特別差。我每次根據(jù)晶振器控制薄膜厚度為600nm，襯底溫度都是400度。但生長(zhǎng)出來(lái)光憑襯底盤顏色判斷厚度就不一樣。開始我懷疑是粉料的問題，所以今天做的時(shí)候沒有新加粉料(之前的已結(jié)塊)，想同樣生長(zhǎng)600nm判斷一下是否是料的狀態(tài)問題。但是實(shí)驗(yàn)過程中發(fā)現(xiàn)蒸發(fā)到一定厚度（200nm）左右，膜厚儀示數(shù)就不變了，料蒸不出來(lái)了。不知道是什么原因。。。還有直接買來(lái)鍺塊來(lái)用會(huì)不會(huì)實(shí)驗(yàn)重復(fù)性好點(diǎn)？求各位同學(xué)幫助，感激不盡，謝謝！ |
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fw_xiao
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5樓2015-06-11 09:07:14
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