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liuyuexue金蟲 (小有名氣)
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[求助]
關(guān)于磁控濺射參數(shù) 已有5人參與
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公司要買一臺國產(chǎn)磁控濺射，預(yù)算40萬左右，需要加溫沉積、反應(yīng)濺射，涉及到的沉積材料有金屬和氧化物薄膜。廠家給的方案如下（55萬）：請大家?guī)兔匆幌履男┕梢詢?yōu)化，比如分子泵需不需要進(jìn)口，直流電源、射頻電源、偏壓電源需不需要進(jìn)口，哪些部件可以用便宜些的省下的錢用在其他部件上。畢竟是企業(yè)不是高校，還是希望把錢花在刀刃上。 《產(chǎn)品配置清單》 序號 名稱 參數(shù) 數(shù)量 生產(chǎn)廠家 1 高真空不銹鋼腔室 約Φ450mm×400mm 1套 沈陽科儀 2 腔體防污內(nèi)襯 1套 沈陽科儀 3 觀察窗及法蘭 CF100/CF63,配防護(hù)擋板 1套 沈陽科儀 4 腔室照明 1只 沈陽科儀 5 旋轉(zhuǎn)基片工裝 120mm基片臺 1套 沈陽科儀 6 旋轉(zhuǎn)調(diào)速電機及電源 1套 沈陽科儀 7 基片臺加熱系統(tǒng) 室溫至600℃可調(diào)可控 1套 沈陽科儀 8 腔室烘烤 烘烤溫度：100℃ 1套 沈陽科儀 11 溫度測量、控制系統(tǒng) 日本山武公司溫度控制器， 1套 沈陽科儀 PID 控溫、可調(diào)可控 12 陶封電極 CF35四芯 1套 沈陽科儀 13 分子泵 Hipace700 685L/s 1臺 德國普發(fā) 14 機械泵 直聯(lián)式旋片泵 TRP-36 1臺 北京優(yōu)成 15 氣動插板閥 CC-150 1臺 沈陽科儀 16 旁抽閥 DF40 1臺 進(jìn)口SMC 17 氣動截止閥 DF40 1支 北京川北 18 電磁充氣閥 DF40 1支 上海西馬特 19 節(jié)流閥 DN150 1臺 沈陽科儀 20 電磁截止閥 DN6 2臺 北京 21 氣動截止閥 DN16 2個 北京 22 真空抽氣管道 不銹鋼三通及波紋管 2臺 沈陽科儀 23 真空規(guī) 1個 Inficon 24 永磁靶 含1只強磁靶 3只 沈陽科儀 25 磁控靶接管組件 3只 沈陽科儀 26 靶的擋板 氣動 3只 進(jìn)口SMC氣缸 27 1000W直流濺射電源 1臺 國產(chǎn)數(shù)字式 28 1000w射頻電源及匹配器 全自動匹配 1臺 HK SMITH 29 -200v偏壓電源 -200v 1臺 沈陽科儀 30 質(zhì)量流量控制器 量程0-100SCCM0-20SCCM 2路 國產(chǎn) 31 控溫電源系統(tǒng) 1套 沈陽科儀 32 控制電源 分子泵、機械泵、電磁閥、水壓報警、照明烘烤,基片旋轉(zhuǎn)、基體加熱、連鎖控制系統(tǒng)等。1臺 沈陽科儀 34 總控制電源 1臺 沈陽科儀 35 PLC+工控機+觸摸屏 1套 沈陽科儀 36 水管、變通、接嘴、不銹鋼球閥、氣路卡套、管接頭不銹鋼材質(zhì),配套合理管路 1套 沈陽科儀 37 氣管、變通、接頭氣體管道金屬管 1套 沈陽科儀 38 安裝機架 表面噴塑、配腳輪、配門 1臺 沈陽科儀 39 靶材 測試靶材 3塊 沈陽科儀 40 低噪音氣泵 1臺 外購 41 專用工具 含工具箱 1套 沈陽科儀 42 密封、連接件及其附件 金屬密封（靜密封）+氟膠圈密封 1批 沈陽科儀 43 氟橡膠密封圈 相應(yīng)規(guī)格的泵、閥、管路、各軸封處易損密封圈1套 沈陽科儀 44 無氧銅墊圈 1套 沈陽科儀 45 螺栓、螺母、墊圈、螺釘?shù)葮?biāo)準(zhǔn)件 1套 沈陽科儀 |
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2016-02-19 09:36:14, 1.5 M
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9樓2016-02-23 07:01:40
pengjinqiang
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2樓2016-02-19 10:13:10
pengjinqiang
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3樓2016-02-19 10:13:59
caojingpie
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【答案】應(yīng)助回帖
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liuyuexue: 金幣+5, ★★★很有幫助 2016-02-19 14:27:36
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
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你這是要做什么膜層，你想要什么樣配置 你這寫的總結(jié)起來就是幾大部件 1.真空腔室 2.真空機組 3.真空檢測 4.弧源和電源 5.水，氣路系統(tǒng) 6.加熱系統(tǒng) 7.控制系統(tǒng) 你真空規(guī) Inficon 只有1個薄膜規(guī)嗎 分子泵和機械泵一個國外一個國內(nèi)，看你自己需要 偏壓電源最好國產(chǎn)，進(jìn)口的好，但是太貴了，40萬的預(yù)算絕對不夠 總體來說吧，沈科儀和我們價格差不多 |
4樓2016-02-19 13:51:24
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