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williamfive銀蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射AlN薄膜電極材料
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最近小弟再做AlN，用的是磁控濺射方法，現(xiàn)在需要做電極，不知哪種金屬或者其他材料可以與AlN形成歐姆接觸呢，我做的是摻雜的，需要測試電性能，希望懂這行的蟲友給我一點(diǎn)指點(diǎn)，非常感謝！ |
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2樓2011-06-04 10:27:35
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【答案】應(yīng)助回帖
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williamfive(金幣+4): 是XPS吧，先等待高人看看有沒有現(xiàn)成的 2011-06-04 12:37:03
williamfive(金幣+1): 懂了，ups測試是可以的，謝過了，不知道純氮化鋁的功函數(shù)是多少？ 2011-06-04 14:28:44
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williamfive(金幣+1): 懂了，ups測試是可以的，謝過了，不知道純氮化鋁的功函數(shù)是多少？ 2011-06-04 14:28:44
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不是你說的那樣，功函數(shù)你可以直接測試數(shù)據(jù)處理得到的，用UPS測試，估計(jì)100-300元之間一個(gè)樣品，（很多地方是按時(shí)間計(jì)算的，300-500元/小時(shí)）。金屬的大家功函數(shù)基本上都知道，不放心也可以測一下。 |
3樓2011-06-04 11:51:33
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