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[求助]
直流磁控濺射鍍膜總是被氧化
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各位大俠！本人做磁控濺射鍍膜已經(jīng)四五個月時間，一直堅持不懈努力著，但是每次鍍出來的鈦膜都是黃色的，用XRD檢測發(fā)現(xiàn)是一氧化鈦，現(xiàn)在離畢業(yè)時間不遠了，但是自己一點成果都沒有，論文都無從談起，想請大家?guī)兔Γ〔簧醺屑�！另PS我試驗中的參數(shù) 基底：單晶硅（100）（純度99.9%） 背景真空度：6-8E-5pa Ar流量：20sccm 工作壓強：0.5pa 濺射功率：100、150、200、250w 我的基底在實驗之前分別丙酮，無水乙醇，去離子水分別超聲波清洗20min，最后用吹風(fēng)機吹干！ 我現(xiàn)在真是不知道自己哪出了問題，研究了很長時間了，希望有經(jīng)驗的大俠給我點建議，我都在崩潰的邊緣了，在這么下去畢業(yè)無止境了都。跪求！ |
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5樓2011-10-11 09:51:06
2樓2011-10-09 14:21:12
3樓2011-10-09 15:04:30
4樓2011-10-11 09:28:34
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