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小木蟲論壇-學術(shù)科研互動平臺 » 材料區(qū) » 功能材料 » 設計與制備 » 磁控濺射靶材
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mjx150榮譽版主 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射靶材
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| 一次實驗過程中，由于電壓沒有調(diào)上去（不知什么原因），就繼續(xù)實驗，然后靶材被擊穿了，爐膛發(fā)黑，請問是什么原因造成上述現(xiàn)象？ |
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wydmhy
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4樓2011-11-28 14:34:04
oliver6539
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3樓2011-11-28 12:32:00
5樓2011-11-30 20:17:03
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