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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 求助Cu膜退火工藝
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lionelning銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助Cu膜退火工藝
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| 在硅片上鍍了1微米的銅膜（有連接層Ti），退火目的是增強膜與基底的連接性，各位有誰做過嗎？具體工藝參數是多少？溫度，時間，設備~ |
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wbcui
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lionelning2樓2012-02-28 09:37:50
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4樓2012-02-29 11:35:01
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5樓2012-02-29 12:38:22
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