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lionelning銅蟲 (初入文壇)
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[求助]
求助Cu膜退火工藝
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| 在硅片上鍍了1微米的銅膜（有連接層Ti），退火目的是增強(qiáng)膜與基底的連接性，各位有誰做過嗎？具體工藝參數(shù)是多少？溫度，時(shí)間，設(shè)備~ |
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lionelning
銅蟲 (初入文壇)
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3樓2012-02-28 09:57:27
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5樓2012-02-29 12:38:22
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