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hanxiao242銀蟲 (正式寫手)
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[求助]
磁控濺射電機(jī)過載，電源打不開了
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| 抽了真空后，打開電源，起輝后感覺顏色不對(duì)，之后一看壓強(qiáng)居然突然升到了1.2*10E2帕，而且分子泵的閥門居然自己關(guān)掉了，之后就是系統(tǒng)報(bào)警：電機(jī)過載。我把射頻電源關(guān)了，主電源自動(dòng)關(guān)了，之后就再也打不開，這是什么情況��？電源燒壞了嗎？我用的功率不大啊，而且一直這樣做都沒問題。 |
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hanxiao242
銀蟲 (正式寫手)
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2樓2012-03-21 21:25:34
wydmhy
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3樓2012-03-21 22:44:51
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