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[交流]
請教異質(zhì)外延生長晶體薄膜的晶向與襯底材料晶向的關(guān)系~【回答有幫助的送紅花】 已有10人參與
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首先抱怨一下，小木蟲論壇火熱，在線會員及訪客數(shù)量龐大，但是很多帖子回復(fù)率都很低，難道是提問尋求幫助的問題都太難了嗎？每次發(fā)個帖子都準(zhǔn)備發(fā)放金幣，結(jié)果到最后基本沒有回復(fù)，要不就是廢話，浪費(fèi)了一大堆金幣（雖然金幣也沒什么用，就是用來發(fā)的），真心希望能有些真正的高手來到小木蟲為蟲友答疑解惑~少扯些閑淡~什么評上“教授了，散金幣”，“發(fā)了XXX，求祝賀”之類的~看起來你學(xué)歷和專業(yè)知識也應(yīng)該達(dá)到一定高度了，來答疑解惑不是更好嗎？ 言歸正傳，請教一個問題：在使用諸如MOCVD、MBE或者HVPE之類手段外延生長晶體薄膜時，如果襯底材料的晶向【也就是襯底表面的晶面指數(shù)】可以任意選擇，那么外延出來的薄膜的晶向如何？兩者對應(yīng)關(guān)系是如何確定的？如果是同質(zhì)外延，我想，外延的薄膜去向與襯底去向應(yīng)該一致，但是如果是異質(zhì)外延呢？請不吝賜教~回答有幫助的送紅花以示感謝~ |
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3樓2012-04-02 21:37:33
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小木蟲: 金幣+0.5, 給個紅包，謝謝回帖
nofrunolif: 金幣+1, 鼓勵交流 2012-04-02 15:47:29
qiqiqiqi: 回帖置頂 2012-04-04 09:56:28
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qiqiqiqi: 回帖置頂 2012-04-04 09:56:28
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這個問題其實(shí)很籠統(tǒng)，得看具體問題。 基底的材料和取向肯定會影響薄膜的取向的。但具體有什么關(guān)系，得具體看是什么基底和什么薄膜，也就是說得看具體的材料。 結(jié)合我做的ZnO薄膜，玻璃基底、Si基底和金屬緩沖層上生長的ZnO都是002取向，但結(jié)晶性肯定有差異。文獻(xiàn)里報道的Al2O3基底生長的也都是002取向。就是說得看具體物質(zhì)。 基底可能會改變?nèi)∠�，但是不絕對。因?yàn)橛绊懭∠虻膮?shù)很多，不止基底取向性這一個，而且，基底的取向性也不一定是最主要的影響參數(shù)，也許氣氛成分、基底溫度等影響遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于基底的影響。 建議多看一些具體的相關(guān)文獻(xiàn)， |
2樓2012-04-02 14:37:55
4樓2012-04-02 22:10:43
5樓2012-04-02 22:46:21
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