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小木蟲論壇-學術科研互動平臺 » 材料區(qū) » 材料綜合 » 材料物理 » 磁控濺射問題
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鐘樓腳下新蟲 (初入文壇)
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[求助]
磁控濺射問題
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| 我最近在做Co基非晶材料的濺射 發(fā)現(xiàn)濺射得到的薄膜中元素的組成成分是和靶材的不太一樣 這個怎么解釋呢？ 是應為不同元素的濺射產(chǎn)額不同而引起的嗎？ 如果是的話 有沒有什么比較好的計算方法？ |
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wbcui
至尊木蟲 (知名作家)
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2樓2012-06-07 22:59:22
xlys-forever
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- 專業(yè): 金屬材料表面科學與工程
3樓2012-06-08 09:25:56
4樓2012-06-08 11:33:11
5樓2012-06-08 11:35:29
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