版塊導(dǎo)航: 正在加載中...

應(yīng)《網(wǎng)絡(luò)安全法》要求，自2017年10月1日起，未進(jìn)行實(shí)名認(rèn)證將不得使用互聯(lián)網(wǎng)跟帖服務(wù)。為保障您的帳號(hào)能夠正常使用，請(qǐng)盡快對(duì)帳號(hào)進(jìn)行手機(jī)號(hào)驗(yàn)證，感謝您的理解與支持！

24小時(shí)熱門(mén)版塊排行榜

北京石油化工學(xué)院2026年研究生招生接收調(diào)劑公告

返回列表

當(dāng)前只顯示滿足指定條件的回帖，點(diǎn)擊這里查看本話題的所有回帖

鐘樓腳下

新蟲(chóng) (初入文壇)

應(yīng)助: 0 (幼兒園)
金幣: 8
帖子: 14
在線: 7.2小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1568899
注冊(cè): 2012-01-08
性別: GG
專(zhuān)業(yè): 電路與系統(tǒng)

[求助] 磁控濺射問(wèn)題

我最近在做Co基非晶材料的濺射發(fā)現(xiàn)濺射得到的薄膜中元素的組成成分是和靶材的不太一樣這個(gè)怎么解釋呢？是應(yīng)為不同元素的濺射產(chǎn)額不同而引起的嗎？如果是的話有沒(méi)有什么比較好的計(jì)算方法？

回復(fù)此樓

» 猜你喜歡

福建師范大學(xué)國(guó)家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收2026年博士研究生2名已經(jīng)有5人回復(fù)
第三屆高性能水性聚合物乳液合成、制備新技術(shù)應(yīng)用交流日程安排已經(jīng)有0人回復(fù)
金屬材料論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)? 已經(jīng)有216人回復(fù)
材料 336 求調(diào)劑已經(jīng)有4人回復(fù)
求調(diào)劑材料專(zhuān)業(yè) 已經(jīng)有3人回復(fù)
309求調(diào)劑一志愿東華大學(xué) 已經(jīng)有11人回復(fù)
2026精細(xì)化工技術(shù)創(chuàng)新論壇暨第三屆危險(xiǎn)工藝及化工中試項(xiàng)目安全風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估控制交流研討會(huì) 已經(jīng)有0人回復(fù)
如何提高丙烯酸乳液與磷酸二氫鋁溶液相容性已經(jīng)有4人回復(fù)
福建師范大學(xué)國(guó)家級(jí)人才團(tuán)隊(duì)招收2026年博士研究生已經(jīng)有4人回復(fù)
歡迎化學(xué)-化工-材料背景同學(xué)調(diào)劑到五邑大學(xué) 先進(jìn)有機(jī)高分子材料團(tuán)隊(duì) 已經(jīng)有0人回復(fù)
武漢紡織大學(xué)材料學(xué)院招收考研調(diào)劑已經(jīng)有6人回復(fù)

» 本主題相關(guān)商家推薦: (我也要在這里推廣)

» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:

求助關(guān)于磁控濺射清洗方面的問(wèn)題~~~急急急已經(jīng)有10人回復(fù)
求助關(guān)于磁控濺射的問(wèn)題已經(jīng)有29人回復(fù)
磁控濺射與反應(yīng)磁控濺射已經(jīng)有18人回復(fù)
磁控濺射分子泵升不上轉(zhuǎn)問(wèn)題已經(jīng)有7人回復(fù)
磁控濺射出問(wèn)題了大蝦們幫幫忙已經(jīng)有6人回復(fù)
【請(qǐng)教】請(qǐng)教，關(guān)于Ar磁控濺射的濺射效率問(wèn)題已經(jīng)有4人回復(fù)
【求助】請(qǐng)教磁控濺射金屬膜問(wèn)題已經(jīng)有23人回復(fù)
磁控濺射射頻功率源的問(wèn)題已經(jīng)有4人回復(fù)
【求助】關(guān)于磁控濺射SiO2的問(wèn)題已經(jīng)有14人回復(fù)
【求助】求助：磁控濺射問(wèn)題已經(jīng)有20人回復(fù)

1樓 2012-06-07 13:31:27

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

xlys-forever

木蟲(chóng) (著名寫(xiě)手)

應(yīng)助: 23 (小學(xué)生)
金幣: 1730.8
散金: 666
紅花: 5
帖子: 1756
在線: 194.1小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 1471875
注冊(cè): 2011-11-02
性別: GG
專(zhuān)業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程

【答案】應(yīng)助回帖

★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
鐘樓腳下: 金幣+1, ★★★很有幫助, 我只有一個(gè)合金靶沒(méi)有單獨(dú)的材料不過(guò)還是感謝你 2012-06-11 16:20:44

雙靶共濺射也可以。
單靶濺射也可以得到想要的成分，根據(jù)成分需要及濺射規(guī)律可以在靶上放置各種金屬片組成復(fù)合靶。再根據(jù)成分分析結(jié)果調(diào)整相對(duì)比例，可以獲得想要的成分。

贊一下

回復(fù)此樓

3樓2012-06-08 09:25:56

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

查看全部 5 個(gè)回答

wbcui

至尊木蟲(chóng) (知名作家)

MEPI: 1
應(yīng)助: 221 (大學(xué)生)
貴賓: 0.349
金幣: 16296.6
散金: 359
紅花: 73
帖子: 8321
在線: 919小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 543804
注冊(cè): 2008-04-11
專(zhuān)業(yè): 金屬功能材料

【答案】應(yīng)助回帖

★ ★ ★
感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
悠然zx11: 金幣+1, 多謝參與，鼓勵(lì)詳細(xì)交流，歡迎常來(lái)^0^ 2012-06-08 08:27:31
鐘樓腳下: 金幣+2, ★★★很有幫助, 感謝 2012-06-11 16:19:20

薄膜成分和靶材成分的有差別很正常
只要差別不大就行

多種原因造成偏差，一來(lái)產(chǎn)額不同，在磁場(chǎng)條件下，等離子體的沉寂速度也不同。似乎沒(méi)什么比較好的計(jì)算方法算出薄膜成分

你要是有條件的話，就共濺射

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

2樓2012-06-07 22:59:22

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

dearhanzi

金蟲(chóng) (小有名氣)

應(yīng)助: 11 (小學(xué)生)
金幣: 807.6
紅花: 2
帖子: 113
在線: 93.3小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 65069
注冊(cè): 2005-04-23
性別: GG
專(zhuān)業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類(lèi)光電信息與功

【答案】應(yīng)助回帖

感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1

理論上靶材的成分和膜的成分不應(yīng)該有區(qū)別，尤其是合金靶材，這個(gè)和濺射產(chǎn)額沒(méi)關(guān)系，濺射產(chǎn)額是相對(duì)單獨(dú)靶材而言。復(fù)合的靶材差別不會(huì)很大，只有可能是氣壓，偏壓等的問(wèn)題。從靶材出來(lái)的成分是和靶材的成分一樣的，最有可能是途中出現(xiàn)不同。

贊一下(1人)

回復(fù)此樓

4樓2012-06-08 11:33:11

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

dearhanzi

金蟲(chóng) (小有名氣)

應(yīng)助: 11 (小學(xué)生)
金幣: 807.6
紅花: 2
帖子: 113
在線: 93.3小時(shí)
蟲(chóng)號(hào): 65069
注冊(cè): 2005-04-23
性別: GG
專(zhuān)業(yè): 無(wú)機(jī)非金屬類(lèi)光電信息與功

【答案】應(yīng)助回帖

★ ★
鐘樓腳下: 金幣+2, ★★★★★最佳答案, 原本的材料成分未知人家廠家不告訴我我靶材和濺射出的薄膜都是用電鏡做的成分分析我在試試改變氣壓和功率吧 2012-06-11 16:22:26

我建議你靶材分析一下，看看是不是真的按照你當(dāng)初購(gòu)買(mǎi)的composition，另外合金靶材的某些元素的團(tuán)聚也會(huì)引起你的成分差別。

贊一下

回復(fù)此樓

5樓2012-06-08 11:35:29

已閱回復(fù)此樓關(guān)注TA 給TA發(fā)消息送TA紅花 TA的回帖

查看全部 5 個(gè)回答

普通表情龍兔虎貓

最具人氣熱帖推薦 [查看全部]		作者	回/看	最后發(fā)表

[考研] 311（085601）求調(diào)劑 +3	liziyeyeye 2026-03-28	3/150	2026-03-28 15:29 by 1018329917
[考研] 0703化學(xué) +10	妮妮ninicgb 2026-03-27	10/500	2026-03-28 14:07 by 噠噠噠呱呱呱
[考研] 調(diào)劑求院校招收 +4	鶴鯨鴿 2026-03-28	4/200	2026-03-28 13:38 by 唐沐兒
[考研] 291求調(diào)劑 +15	hhhhxn.. 2026-03-23	21/1050	2026-03-28 11:26 by self2008
[考研] 藥學(xué)105500求調(diào)劑 +3	Ssun。。 2026-03-28	3/150	2026-03-28 11:24 by lxf170613
[材料工程] 一志愿C9材料與化工專(zhuān)業(yè)總分300求調(diào)劑 +8	曼111 2026-03-24	9/450	2026-03-28 07:58 by YYYYX1234
[考研] 272求調(diào)劑 +7	腳滑的守法公民 2026-03-27	7/350	2026-03-27 17:23 by laoshidan
[考研] 085600，材料與化工321分，求調(diào)劑 +9	大饞小子 2026-03-27	9/450	2026-03-27 14:30 by mmm just
[考研] 298調(diào)劑 +3	jiyingjie123 2026-03-27	3/150	2026-03-27 11:57 by wxiongid
[考研] 314求調(diào)劑 +3	溪云珂 2026-03-26	3/150	2026-03-27 11:20 by sanrepian
[考研] 一志愿鄭大085600，310分求調(diào)劑 +5	李瀟可 2026-03-26	5/250	2026-03-27 11:14 by 不吃魚(yú)的貓
[考研] 0703化學(xué)338求調(diào)劑！ +6	Zuhui0306 2026-03-26	7/350	2026-03-27 10:35 by shangxh
[考研] 286求調(diào)劑 +4	lim0922 2026-03-26	4/200	2026-03-27 10:28 by guoweigw
[考研] 求調(diào)劑 +8	Auroracx 2026-03-22	8/400	2026-03-26 19:55 by 不吃魚(yú)的貓
[考研] 289求調(diào)劑 +17	碩星赴 2026-03-23	17/850	2026-03-26 16:18 by 不吃魚(yú)的貓
[考研] 資源與環(huán)境調(diào)劑申請(qǐng)(333分) +9	holy J 2026-03-21	9/450	2026-03-26 15:47 by 161765490
[考研] 一志愿上海交大生物與醫(yī)藥專(zhuān)碩324分，求調(diào)劑 +6	jiajunX 2026-03-22	6/300	2026-03-25 23:05 by licg0208
[考研] 一志愿哈工大，085400，320，求調(diào)劑 +4	gdlf9999 2026-03-24	4/200	2026-03-25 23:01 by boxking200
[考研] 一志愿吉林大學(xué)材料與化工303分求調(diào)劑 +4	為學(xué)666 2026-03-24	4/200	2026-03-25 11:27 by BruceLiu320
[考研] 300求調(diào)劑，材料科學(xué)英一數(shù)二 +5	leaflight 2026-03-24	5/250	2026-03-24 16:25 by laoshidan