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王九秀wjx新蟲 (初入文壇)
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磁控濺射ITO是用直流的好還是射頻的好？ 已有5人參與
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| 磁控濺射ITO是用直流的好還是射頻的好？ |
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wu1008
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2樓2012-11-29 21:38:34
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王九秀wjx
新蟲 (初入文壇)
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7樓2012-11-30 14:08:50
★ ★
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-12-05 21:56:33
小木蟲: 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
蔣青松: 金幣+1, 鼓勵(lì)交流 2012-12-05 21:56:33
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如果你的靶材導(dǎo)電性這些不是很好，但是直流也不是不能用的時(shí)候，射頻就會(huì)更加穩(wěn)定。如果硬要用直流也可以，但是或許你的靶材的一些問(wèn)題會(huì)被放大或者累計(jì)。射頻會(huì)幫你彌補(bǔ)一些，當(dāng)然是質(zhì)量好的射頻電源。打火 這些問(wèn)題會(huì)少很多，對(duì)你膜層質(zhì)量要好一些。 但是也不是絕對(duì)的，所以看你的靶材，以及設(shè)備這些來(lái)決定。 不需要非要追究哪個(gè)好哪個(gè)不好哦 |
8樓2012-12-05 14:41:27
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