 |
 |
 |
 |
 |
 |
||
 |
 |
 |
 |
 |
| 查看: 5595 | 回復(fù): 33 | |||||
dearsodium鐵桿木蟲 (小有名氣)
|
[求助]
射頻磁控濺射后為什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人參與
|
||||
|
最近磁控濺射設(shè)備有點(diǎn)問題，射頻濺射后，靶材表面有明顯的黑灰，或者是呈現(xiàn)出彩色光環(huán)（如圖分別為PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且輝光顏色也從以前的紫紅色變成了明顯的粉紅色（氣體為Ar氣），想請(qǐng)教下各位專業(yè)人士，這是怎么回事？感謝各位幫忙，大量金幣奉送，如能詳細(xì)解惑，定當(dāng)重謝，先在此感謝啦~！ IMG_20130407_195546.jpg IMG_20130407_195644.jpg IMG_20130407_195657.jpg IMG_20130407_195821.jpg |
回復(fù)此樓» 收錄本帖的淘帖專輯推薦
 磁控濺射靶材資料大全 | 磁性材料 | PVD鍍膜類技術(shù)資料 |
» 猜你喜歡
中科大國(guó)家級(jí)青年人才招聘（無機(jī)非金屬材料、化學(xué)等方向）博士
已經(jīng)有12人回復(fù)
-
成都大學(xué)招收26級(jí)材料工程調(diào)劑生
已經(jīng)有2人回復(fù)
-
金屬材料論文潤(rùn)色/翻譯怎么收費(fèi)?
已經(jīng)有244人回復(fù)
-
材料工程,326分，求調(diào)劑
已經(jīng)有6人回復(fù)
-
江西理工大學(xué)2026年博士研究生招生公告
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
江西理工大學(xué)熊仕顯教授團(tuán)隊(duì)2026年博士研究生招生公告
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
江西理工大學(xué)熊仕顯教授團(tuán)隊(duì)2026年博士研究生招生公告
已經(jīng)有0人回復(fù)
-
一志愿南昌大學(xué)085601材料專碩，四六級(jí)已過
已經(jīng)有11人回復(fù)
-
一志愿211,0856初試成績(jī)336分，英語四級(jí)530分，六級(jí)463分求調(diào)劑
已經(jīng)有2人回復(fù)
» 本主題相關(guān)價(jià)值貼推薦，對(duì)您同樣有幫助:
- 磁控濺射換靶材之后功率變化很大？
已經(jīng)有8人回復(fù)
- 射頻磁控濺射鍍金屬靶材如何建立自偏壓？
已經(jīng)有5人回復(fù)
6樓2013-04-07 21:22:01
mzhuxust
木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 67 (初中生)
- 金幣: 2630.6
- 紅花: 8
- 帖子: 297
- 在線: 150.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 2296404
- 注冊(cè): 2013-02-24
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ...
dearsodium: 金幣+20, ★★★很有幫助, 非常感謝 2013-04-08 11:00:35
dearsodium: 金幣+50, ★★★很有幫助, 非常感謝您提供的方法，漏點(diǎn)已經(jīng)找到，謝謝 2013-04-10 23:40:33
dearsodium: 金幣+20, ★★★很有幫助, 非常感謝 2013-04-08 11:00:35
dearsodium: 金幣+50, ★★★很有幫助, 非常感謝您提供的方法，漏點(diǎn)已經(jīng)找到，謝謝 2013-04-10 23:40:33
|
把設(shè)備打開，抽真空，但是不濺射。一個(gè)人用裝有酒精的針管對(duì)著接口的縫隙注射少量酒精，另一個(gè)人觀察真空表，如果真空度明顯下降，表明這個(gè)地方漏氣�？梢园阉械慕涌诙紮z查一遍。當(dāng)然，如果有專業(yè)的真空檢漏設(shè)備會(huì)更好！ |
16樓2013-04-08 10:46:41
dearsodium
鐵桿木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 9026
- 散金: 53
- 帖子: 98
- 在線: 110.8小時(shí)
- 蟲號(hào): 1157721
- 注冊(cè): 2010-11-28
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
|
感謝之前的各位朋友的回答，針對(duì)大家說的漏氣問題我再補(bǔ)充幾點(diǎn)，因?yàn)樽罱膶?shí)驗(yàn)都是采用的之前的成熟工藝條件在做，分子泵啟動(dòng)后本底真空大概一個(gè)半小時(shí)到兩個(gè)小時(shí)就能下到9.8*10-4以下，雖然比以前慢，但是慢得并不多，包括之后流量計(jì)控進(jìn)氣，高閥控出氣的位置，以及濺射時(shí)氬氣氣壓的控制，都和以前沒有區(qū)別，總的說來，抽真空和控氣壓過程沒有明顯感覺到有大量漏氣的情況，另外氬氣已經(jīng)試用了兩瓶了，依然是如題現(xiàn)象，想進(jìn)一步問一下，如果是漏氣的話，是否是漏一點(diǎn)點(diǎn)就會(huì)有這么明顯的影響。 此外，因?yàn)榇趴貫R射放靶的位置，因?yàn)殚L(zhǎng)期使用外加保養(yǎng)不善，稍微有一點(diǎn)鼓起，靶放在上面稍微有一點(diǎn)不平感，請(qǐng)問這是否也會(huì)造成影響呢，謝謝大家啦。 |
17樓2013-04-08 10:58:41
keyhole
木蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 19 (小學(xué)生)
- 金幣: 7264.2
- 散金: 11
- 紅花: 3
- 帖子: 609
- 在線: 107.4小時(shí)
- 蟲號(hào): 1014691
- 注冊(cè): 2010-05-09
- 性別: GG
- 專業(yè): 知識(shí)管理
【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
dearsodium: 金幣+20, ★有幫助, 非常感謝您的回答，學(xué)習(xí)了 2013-04-22 18:34:35
dearsodium: 金幣+20, ★有幫助, 非常感謝您的回答，學(xué)習(xí)了 2013-04-22 18:34:35
|
濺射出的原子最終沉降的目標(biāo)區(qū)（基底）。離子濺射通常是高能粒子在爐內(nèi)亂飛，所以不僅靶材，連沉積區(qū)的底板（基底）表面原子也很有可能被打出來飛入靶材表面，比如用硅片做基底在上面沉積涂層，工藝不好的話，硅可能也會(huì)飛到靶材中。真空度不夠的可能性應(yīng)該更大，你可以切塊靶材，用SEM的能譜檢測(cè)下表面黑的和彩色的包含什么元素，有助于判斷 |
30樓2013-04-21 10:10:47
daling8210
鐵蟲 (正式寫手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 11303.5
- 散金: 137
- 帖子: 657
- 在線: 1932.3小時(shí)
- 蟲號(hào): 686592
- 注冊(cè): 2009-01-02
3樓2013-04-07 21:06:24
shinali
銀蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 1 (幼兒園)
- 金幣: 336.1
- 帖子: 55
- 在線: 51.4小時(shí)
- 蟲號(hào): 1380324
- 注冊(cè): 2011-08-26
- 性別: MM
- 專業(yè): 數(shù)論
26樓2013-04-19 10:58:32
 |
2樓2013-04-07 20:53:45
漏氣了，和我之前一樣，仔細(xì)檢查吧，找漏點(diǎn)不容易啊 4樓2013-04-07 21:15:56
dearsodium
鐵桿木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 9026
- 散金: 53
- 帖子: 98
- 在線: 110.8小時(shí)
- 蟲號(hào): 1157721
- 注冊(cè): 2010-11-28
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2013-04-07 21:18:34
dearsodium
鐵桿木蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 9026
- 散金: 53
- 帖子: 98
- 在線: 110.8小時(shí)
- 蟲號(hào): 1157721
- 注冊(cè): 2010-11-28
- 性別: GG
- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
7樓2013-04-07 21:26:56
wbcui
至尊木蟲 (知名作家)
- MEPI: 1
- 應(yīng)助: 221 (大學(xué)生)
- 貴賓: 0.349
- 金幣: 16296.6
- 散金: 359
- 紅花: 73
- 帖子: 8321
- 在線: 919小時(shí)
- 蟲號(hào): 543804
- 注冊(cè): 2008-04-11
- 專業(yè): 金屬功能材料
8樓2013-04-07 22:40:12
小feixia
金蟲 (小有名氣)
- 應(yīng)助: 5 (幼兒園)
- 金幣: 2475.2
- 帖子: 55
- 在線: 49.7小時(shí)
- 蟲號(hào): 1237796
- 注冊(cè): 2011-03-18
- 性別: GG
- 專業(yè): 化學(xué)生物學(xué)與生物有機(jī)化學(xué)
9樓2013-04-07 23:53:12
wesley05
版主 (職業(yè)作家)
- 應(yīng)助: 13 (小學(xué)生)
- 貴賓: 0.498
- 金幣: 22658.1
- 散金: 3884
- 紅花: 17
- 沙發(fā): 5
- 帖子: 3124
- 在線: 1041.2小時(shí)
- 蟲號(hào): 367789
- 注冊(cè): 2007-05-11
- 性別: GG
- 專業(yè): 金屬材料表面科學(xué)與工程
- 管轄: 訪問學(xué)者
10樓2013-04-08 00:14:19
相關(guān)版塊跳轉(zhuǎn)
我要訂閱樓主 dearsodium 的主題更新
| 最具人氣熱帖推薦 [查看全部] | 作者 | 回/看 | 最后發(fā)表 | |
|---|---|---|---|---|
|
[考博] 環(huán)境領(lǐng)域全國(guó)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室招收博士1-2名 +3 | QGZDSYS 2026-03-13 | 3/150 |
|
|---|---|---|---|---|
|
|
[考研] 材料專碩306英一數(shù)二 +8 | z1z2z3879 2026-03-16 | 10/500 |
|
|
|
[考博] 26博士申請(qǐng) +3 | 1042136743 2026-03-17 | 3/150 |
|
|
[考研] 341求調(diào)劑 +5 | 搗蛋豬豬 2026-03-11 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 梁成偉老師課題組歡迎你的加入 +8 | 一鴨鴨喲 2026-03-14 | 10/500 |
|
|
|
[考研] [導(dǎo)師推薦]西南科技大學(xué)國(guó)防/材料導(dǎo)師推薦 +3 | 尖角小荷 2026-03-16 | 6/300 |
|
|
|
[基金申請(qǐng)] 國(guó)自科面上基金字體 +6 | iwuli 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 333求調(diào)劑 +3 | 文思客 2026-03-16 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 一志愿985，本科211，0817化學(xué)工程與技術(shù)319求調(diào)劑 +5 | Liwangman 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 318求調(diào)劑 +3 | Yanyali 2026-03-15 | 3/150 |
|
|
|
[考研] 311求調(diào)劑 +5 | 26研0 2026-03-15 | 5/250 |
|
|
|
[考研] 一志愿華中師范071000，325求調(diào)劑 +6 | RuitingC 2026-03-12 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 材料與化工（0856）304求B區(qū)調(diào)劑 +6 | 邱gl 2026-03-12 | 7/350 |
|
|
|
[考研] 26調(diào)劑/材料科學(xué)與工程/總分295/求收留 +9 | 2026調(diào)劑俠 2026-03-12 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 材料工程調(diào)劑 +4 | 咪咪空空 2026-03-11 | 4/200 |
|
|
|
[考研] 一志愿211化學(xué)學(xué)碩310分求調(diào)劑 +8 | 努力奮斗112 2026-03-12 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 土木第一志愿276求調(diào)劑，科研和技能十分豐富，求新興方向的導(dǎo)師收留 +3 | 土木小天才 2026-03-12 | 3/150 |
|
|
|
[論文投稿]
投稿問題
 5+4
|
星光燦爛xt 2026-03-12 | 6/300 |
|
|
|
[考研] 化工學(xué)碩306求調(diào)劑 +9 | 42838695 2026-03-12 | 9/450 |
|
|
|
[考研] 270求調(diào)劑 085600材料與化工專碩 +3 | YXCT 2026-03-11 | 3/150 |
|