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dearsodium鐵桿木蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
射頻磁控濺射后為什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人參與
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最近磁控濺射設(shè)備有點(diǎn)問(wèn)題，射頻濺射后，靶材表面有明顯的黑灰，或者是呈現(xiàn)出彩色光環(huán)（如圖分別為PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且輝光顏色也從以前的紫紅色變成了明顯的粉紅色（氣體為Ar氣），想請(qǐng)教下各位專(zhuān)業(yè)人士，這是怎么回事？感謝各位幫忙，大量金幣奉送，如能詳細(xì)解惑，定當(dāng)重謝，先在此感謝啦~！ IMG_20130407_195546.jpg IMG_20130407_195644.jpg IMG_20130407_195657.jpg IMG_20130407_195821.jpg |
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 磁控濺射靶材資料大全 | 磁性材料 | PVD鍍膜類(lèi)技術(shù)資料 |
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漏氣了，和我之前一樣，仔細(xì)檢查吧，找漏點(diǎn)不容易啊 
4樓2013-04-07 21:15:56
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2樓2013-04-07 20:53:45
daling8210
鐵蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 11303.5
- 散金: 137
- 帖子: 657
- 在線: 1932.3小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 686592
- 注冊(cè): 2009-01-02
3樓2013-04-07 21:06:24
dearsodium
鐵桿木蟲(chóng) (小有名氣)
- 應(yīng)助: 0 (幼兒園)
- 金幣: 9026
- 散金: 53
- 帖子: 98
- 在線: 110.8小時(shí)
- 蟲(chóng)號(hào): 1157721
- 注冊(cè): 2010-11-28
- 性別: GG
- 專(zhuān)業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2013-04-07 21:18:34
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