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dearsodium鐵桿木蟲 (小有名氣)
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[求助]
射頻磁控濺射后為什么靶材表面有黑膜和彩色光圈 已有1人參與
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最近磁控濺射設(shè)備有點問題，射頻濺射后，靶材表面有明顯的黑灰，或者是呈現(xiàn)出彩色光環(huán)（如圖分別為PbSe、CdZnTe、Cu靶），并且輝光顏色也從以前的紫紅色變成了明顯的粉紅色（氣體為Ar氣），想請教下各位專業(yè)人士，這是怎么回事？感謝各位幫忙，大量金幣奉送，如能詳細(xì)解惑，定當(dāng)重謝，先在此感謝啦~！ IMG_20130407_195546.jpg IMG_20130407_195644.jpg IMG_20130407_195657.jpg IMG_20130407_195821.jpg |
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daling8210
鐵蟲 (正式寫手)
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3樓2013-04-07 21:06:24
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2樓2013-04-07 20:53:45
漏氣了，和我之前一樣，仔細(xì)檢查吧，找漏點不容易啊 4樓2013-04-07 21:15:56
dearsodium
鐵桿木蟲 (小有名氣)
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- 專業(yè): 半導(dǎo)體材料
5樓2013-04-07 21:18:34
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