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conquertju金蟲(chóng) (小有名氣)
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[求助]
硅表面磁控濺射銀
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| 不知道有木有人做這方面內(nèi)容？最近做實(shí)驗(yàn)硅表面用酒精超聲波清洗10min，再用HF酸洗一會(huì)，之后硅表面出現(xiàn)花紋，磁控濺射后出現(xiàn)脫落，求幫助啊 |
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yswyx 
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【答案】應(yīng)助回帖
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1. 硅片直接濺射銀本來(lái)就容易脫離，一般要用Cr,Ti,Ni之類的金屬做過(guò)渡層。 2. 清洗用RCA的方法清洗最干凈。酒精和超聲波對(duì)于濺射這樣的工藝，只能越洗越臟。如果是免洗片，真空包裝的，不需要洗。如果是非免洗的片子，最好找有條件的超凈環(huán)境，做RCA清洗。至少硫酸＋雙氧水煮片子是要做的。 3. HF酸是去除表面氧化層的，出現(xiàn)花紋，要么是氧化層去除的不夠干凈，要么是時(shí)間太長(zhǎng)已經(jīng)腐蝕硅了。 另外，你的硅片是從哪兒買(mǎi)的？ |
5樓2013-04-15 17:18:44
cnxhw
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8樓2013-04-15 18:30:05
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9樓2013-04-16 04:02:01
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10樓2013-04-16 04:02:46
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