8樓: Originally posted by jqz0001 at 2013-08-12 23:15:38
跟真空室的氣壓有關(guān)系，你氣體流量大了，真空度就降低了，這時(shí)候鍍膜靶電源電壓就低了
氣體流量小了，真空度就高了，鍍膜時(shí)靶電源電壓就升高了。
具體原因記得不清了，好像跟真空室內(nèi)氣體份子的運(yùn)動(dòng)有關(guān)

再補(bǔ)充一點(diǎn)，電壓變化的原因不只是氣體流量這一個(gè)因素，靶材的冷卻對(duì)電壓的影響也挺大的

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9樓2013-08-12 23:18:21

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ggtech

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引用回帖:

6樓: Originally posted by csa5344235 at 2013-08-12 19:07:48
那加氧的話，為什么是那個(gè)曲線呢？還沒(méi)說(shuō)到那個(gè)點(diǎn)上呢！...

首先你知道這個(gè)遲滯回線嗎？這是反應(yīng)濺射的基礎(chǔ)。

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gtech

10樓2013-08-13 08:35:10

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