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Illusionist銀蟲 (正式寫手)
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[求助]
射頻濺射反射功率居高不下！怎么辦？
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濺射的是半導(dǎo)體薄膜，電阻4~5K歐姆。 輸入100W功率，反射功率達(dá)到53W，實際功率只有47W。 調(diào)節(jié)電容，反射功率還會上升！~ 怎么回事？ |
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【答案】應(yīng)助回帖
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問題是： 如果自動匹配不行，手動匹配可以起輝，但是反向大于5W,說明有可能 1、你的匹配器內(nèi)電感腳選的位置不合適，腔內(nèi)負(fù)載與匹配器的數(shù)據(jù)沒有形成共軛。 2、您的匹配器有異常。 3、你給zhoubin@e-techhk.com問問。 |
Illusionist7樓2013-10-17 16:41:22
sgdaiwen
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【答案】應(yīng)助回帖
★ ★ ★ ★
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Illusionist: 金幣+2, ★有幫助, 現(xiàn)在用的是AE CESAR 136 射頻發(fā)生器，負(fù)載電容無法調(diào)節(jié)！·不知道怎么回事呢··暈啊······ 2013-08-29 16:00:33
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| 一般反射功率不超過功率的4%，太高了會損傷儀器的。一般調(diào)節(jié)功率適配器上面的調(diào)諧和耦合兩個就可以降低反射功率了啊。 |
2樓2013-08-29 15:08:35
WeightLoser
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3樓2013-09-10 17:03:00
Illusionist
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4樓2013-09-10 18:20:57
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