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Illusionist銀蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
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[求助]
射頻濺射反射功率居高不下！怎么辦？
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濺射的是半導(dǎo)體薄膜，電阻4~5K歐姆。 輸入100W功率，反射功率達(dá)到53W，實(shí)際功率只有47W。 調(diào)節(jié)電容，反射功率還會(huì)上升！~ 怎么回事？ |
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Illusionist
銀蟲(chóng) (正式寫(xiě)手)
送紅花一朵
 3q |
8樓2013-10-17 17:02:22
sgdaiwen
新蟲(chóng) (小有名氣)
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【答案】應(yīng)助回帖
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感謝參與，應(yīng)助指數(shù) +1
Illusionist(fbqrdzs代發(fā)): 金幣+2, 鼓勵(lì)交流 2013-08-29 15:14:44
Illusionist: 金幣+2, ★有幫助, 現(xiàn)在用的是AE CESAR 136 射頻發(fā)生器，負(fù)載電容無(wú)法調(diào)節(jié)！·不知道怎么回事呢··暈啊······ 2013-08-29 16:00:33
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| 一般反射功率不超過(guò)功率的4%，太高了會(huì)損傷儀器的。一般調(diào)節(jié)功率適配器上面的調(diào)諧和耦合兩個(gè)就可以降低反射功率了啊。 |
2樓2013-08-29 15:08:35
WeightLoser
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3樓2013-09-10 17:03:00
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4樓2013-09-10 18:20:57
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