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aaron5235木蟲(chóng) (正式寫手)
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[交流]
反應(yīng)磁控濺射為什么不屬于化學(xué)氣相沉積法呢？ 已有3人參與
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| 反應(yīng)磁控濺射中，比如TiO2，有Ti+與氧離子的反應(yīng)。為什么不是化學(xué)氣相沉積法呢？？？ |
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peterflyer 
木蟲(chóng)之王 (文學(xué)泰斗)
peterflyer
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2樓2014-05-07 15:47:28
ddx4142
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小木蟲(chóng): 金幣+0.5, 給個(gè)紅包，謝謝回帖
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| 化學(xué)氣相沉積(Chemical vapor deposition，簡(jiǎn)稱CVD)是反應(yīng)物質(zhì)在氣態(tài)條件下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成固態(tài)物質(zhì)沉積在加熱的固態(tài)基體表面，進(jìn)而制得固體材料的工藝技術(shù)。它本質(zhì)上屬于原子范疇的氣態(tài)傳質(zhì)過(guò)程。與之相對(duì)的是物理氣相沉積（PVD）。http://baike.baidu.com/view/1627731.htm?fr=aladdin |
3樓2014-05-07 22:51:23
longbowhe
銀蟲(chóng) (小有名氣)
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- 專業(yè): 凝聚態(tài)物性 II ：電子結(jié)構(gòu)
4樓2014-06-08 12:24:04
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